石墨烯场效应管光电传感器研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第11-22页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 石墨烯材料的性质 | 第12-14页 |
| 1.3 石墨烯在光电领域的应用 | 第14-17页 |
| 1.3.1 光伏电池 | 第14-15页 |
| 1.3.2 发光器件 | 第15-16页 |
| 1.3.3 光电传感器 | 第16页 |
| 1.3.4 太赫兹设备 | 第16-17页 |
| 1.4 石墨烯掺杂技术 | 第17-19页 |
| 1.5 本文的研究工作与创新点 | 第19-21页 |
| 1.6 论文结构安排 | 第21-22页 |
| 2 石墨烯场效应管的设计 | 第22-32页 |
| 2.1 石墨烯光电传感原理分析 | 第22页 |
| 2.2 石墨烯场效应管器件结构设计 | 第22-26页 |
| 2.2.1 埋栅结构 | 第23-25页 |
| 2.2.2 应力层基座 | 第25-26页 |
| 2.3 石墨烯场效应管版图设计 | 第26-31页 |
| 2.3.1 版图设计规则 | 第26页 |
| 2.3.2 自组装石墨烯场效应管版图介绍 | 第26-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3. 石墨烯场效应管光电传感器器件制备 | 第32-57页 |
| 3.1 石墨烯场效应管制备工艺 | 第32-46页 |
| 3.1.1 牺牲层的制作 | 第32-34页 |
| 3.1.2 应力层的制作 | 第34-36页 |
| 3.1.3 栅电极的制作 | 第36-38页 |
| 3.1.4 介质层的制作 | 第38-40页 |
| 3.1.5 转移石墨烯与图形化 | 第40-44页 |
| 3.1.6 源电极、漏电极的制作 | 第44-46页 |
| 3.2 石墨烯的转移工艺 | 第46-50页 |
| 3.2.1 少层石墨烯的转移方法 | 第46-48页 |
| 3.2.2 单层石墨烯的转移方法 | 第48-49页 |
| 3.2.3 少层石墨烯与单层石墨烯的拉曼光谱分析 | 第49-50页 |
| 3.3 自组装微管结构制作试验 | 第50-52页 |
| 3.4 制备结果 | 第52-55页 |
| 3.4.1 石墨烯场效应管形态表征 | 第52-54页 |
| 3.4.2 石墨烯场效应管拉曼光谱分析 | 第54-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 4. 薄膜覆盖石墨烯场效应管环境稳定性研究 | 第57-63页 |
| 4.1 氮化硅薄膜覆盖工艺流程 | 第57-58页 |
| 4.2 薄膜覆盖石墨烯场效应管环境稳定性测试 | 第58-62页 |
| 4.2.1 测试系统搭建 | 第58-59页 |
| 4.2.2 电学性能测试 | 第59-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 5. 石墨烯光电传感器光电性能测试 | 第63-68页 |
| 5.1 光电响应测试 | 第63-66页 |
| 5.1.1 测试系统搭建 | 第63-64页 |
| 5.1.2 可见光范围光电响应测试 | 第64-66页 |
| 5.2 太赫兹响应测试 | 第66-67页 |
| 5.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 6 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简历及攻读硕士/博士学位期间取得的研究成果 | 第76-78页 |
| 学位论文数据集 | 第78页 |
