| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 论文的主要创新点与贡献 | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-29页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 太阳电池产业发展 | 第12-13页 |
| 1.3 太阳电池的种类和技术进展 | 第13-25页 |
| 1.3.1 晶体硅太阳电池 | 第13-14页 |
| 1.3.2 硅薄膜太阳电池 | 第14-16页 |
| 1.3.3 砷化镓基太阳电池 | 第16-17页 |
| 1.3.4 铜铟镓硒薄膜太阳电池 | 第17-18页 |
| 1.3.5 碲化镉薄膜太阳电池 | 第18-25页 |
| 1.3.5.1 碲化镉薄膜太阳电池的发展现状 | 第18-20页 |
| 1.3.5.2 电池结构和制备工艺 | 第20-25页 |
| 1.4 选题背景与意义 | 第25-26页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第26-29页 |
| 第2章 实验方法 | 第29-43页 |
| 2.1 引言 | 第29页 |
| 2.2 实验原材料 | 第29-30页 |
| 2.3 实验设备 | 第30-32页 |
| 2.4 薄膜材料和电池器件的制备方法 | 第32-36页 |
| 2.4.1 衬底清洗 | 第32页 |
| 2.4.2 薄膜材料的SPUT法制备 | 第32-33页 |
| 2.4.3 CdS薄膜的CSS法制备 | 第33页 |
| 2.4.4 CdS薄膜的CBD法制备 | 第33页 |
| 2.4.5 CdCl_2退火工艺 | 第33-34页 |
| 2.4.6 SPUT法制备CdTe薄膜太阳电池 | 第34-36页 |
| 2.5 薄膜材料的性能表征和测试 | 第36-37页 |
| 2.5.1 X射线衍射分析 | 第36页 |
| 2.5.2 场发射扫描电子显微镜形貌分析 | 第36页 |
| 2.5.3 原子力显微镜形貌分析 | 第36页 |
| 2.5.4 DekTak150台阶仪厚度测试 | 第36页 |
| 2.5.5 Cary 5000 紫外可见近红外光谱仪 | 第36-37页 |
| 2.5.6 俄歇电子测试 | 第37页 |
| 2.5.7 霍尔测量系统 | 第37页 |
| 2.6 太阳电池器件的性能表征和测试 | 第37-41页 |
| 2.6.1 J-V性能测试 | 第37-40页 |
| 2.6.2 光谱响应测试 — EQE测试 | 第40-41页 |
| 2.7 本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 CdS窗口层的透射光损失研究 | 第43-63页 |
| 3.1 引言 | 第43-44页 |
| 3.2 CdS薄膜制备实验设计 | 第44-45页 |
| 3.3 CBD、CSS和SPUT制备CdS薄膜的性能 | 第45-53页 |
| 3.3.1 结构和形貌研究 | 第45-48页 |
| 3.3.2 透射光谱和平均光谱透射率 | 第48-52页 |
| 3.3.3 短路电流密度损失 | 第52-53页 |
| 3.4 FTO, ITO和AZO衬底CdS薄膜的性能 | 第53-61页 |
| 3.4.1 结构和形貌研究 | 第53-56页 |
| 3.4.2 透射光谱和平均光谱透射率 | 第56-59页 |
| 3.4.3 短路电流密度损失 | 第59-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第4章 金属Mo背电极性能研究 | 第63-77页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 金属Mo薄膜制备的实验设计 | 第63-64页 |
| 4.3 金属Mo背电极的制备和性能 | 第64-65页 |
| 4.4 金属Mo薄膜的结构和形貌 | 第65-70页 |
| 4.5 金属Mo薄膜的残余应力 | 第70-73页 |
| 4.6 金属Mo薄膜的电学性能 | 第73-74页 |
| 4.7 金属Mo薄膜的光学性能 | 第74-75页 |
| 4.8 本章小结 | 第75-77页 |
| 第5章 CdCl_2退火工艺研究 | 第77-97页 |
| 5.1 引言 | 第77页 |
| 5.2 CdCl_2退火实验设计 | 第77-78页 |
| 5.3 CdS和CdTe薄膜性能研究 | 第78-90页 |
| 5.3.1 CdS和CdTe薄膜结构 | 第78-82页 |
| 5.3.2 CdS和CdTe薄膜形貌 | 第82-84页 |
| 5.3.3 CdS/CdTe异质结和S、Te互扩散 | 第84-88页 |
| 5.3.4 CdS和CdTe薄膜透射光谱 | 第88-90页 |
| 5.4 CdTe薄膜太阳电池J-V性能 | 第90-94页 |
| 5.5 CdTe薄膜太阳电池的EQE性能 | 第94-95页 |
| 5.6 本章小结 | 第95-97页 |
| 第6章 全溅射CdTe薄膜太阳电池研究 | 第97-117页 |
| 6.1 引言 | 第97页 |
| 6.2 实验设计 | 第97-98页 |
| 6.2.1 AZO薄膜的制备 | 第97-98页 |
| 6.2.2 i-ZnO薄膜的制备 | 第98页 |
| 6.2.3 CdTe薄膜太阳电池的制备 | 第98页 |
| 6.3 磁控溅射AZO薄膜的性能研究 | 第98-107页 |
| 6.3.1 不同Ar气压强溅射制备的AZO薄膜 | 第99-102页 |
| 6.3.2 不同靶功率溅射制备的AZO薄膜 | 第102-104页 |
| 6.3.3 不同衬底温度溅射制备的AZO薄膜 | 第104-107页 |
| 6.4 ZnO阻挡层对CdTe薄膜太阳电池的影响 | 第107-110页 |
| 6.5 磁控溅射CdTe薄膜太阳电池性能研究 | 第110-116页 |
| 6.5.1 磁控溅射CdTe薄膜太阳电池的J-V性能 | 第111-114页 |
| 6.5.2 磁控溅射CdTe薄膜太阳电池的量子损失 | 第114-116页 |
| 6.6 本章小结 | 第116-117页 |
| 结论 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-131页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-135页 |
