| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 谐振梁耦合振动特性分析 | 第17-32页 |
| 2.1 悬臂梁三场耦合动力学模型 | 第17-20页 |
| 2.2 机械-化学-分子力三场耦合方程求解 | 第20-24页 |
| 2.2.1 静态方程求解 | 第21-22页 |
| 2.2.2 动态方程求解 | 第22-24页 |
| 2.3 结果分析 | 第24-31页 |
| 2.3.1 纳米梁和微米梁固有频率影响规律对比分析 | 第25-26页 |
| 2.3.2 纳米梁和微米梁瞬时频率影响规律对比分析 | 第26-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 集成谐振梁耦合振动特性分析 | 第32-49页 |
| 3.1 集成谐振梁动力学模型的建立 | 第32-39页 |
| 3.2 瞬时频率和灵敏度求解 | 第39-40页 |
| 3.3 集成微米谐振梁振动结果分析 | 第40-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 考虑热激励时谐振梁振动特性分析 | 第49-69页 |
| 4.1 热激励条件下谐振梁机械-化学-分子力动力学模型 | 第49-51页 |
| 4.2 热激励情况下的线性谐振梁振动分析 | 第51-54页 |
| 4.2.1 线性谐振梁动力学方程 | 第51页 |
| 4.2.2 线性谐振梁动力学方程求解 | 第51-54页 |
| 4.3 热激励情况下的非线性谐振梁振动分析 | 第54-58页 |
| 4.3.1 非线性谐振梁动力学方程 | 第54-55页 |
| 4.3.2 非线性谐振梁动力学方程求解 | 第55-58页 |
| 4.4 结果分析 | 第58-68页 |
| 4.4.1 线性谐振梁振动结果分析 | 第58-65页 |
| 4.4.2 非线性谐振梁振动结果分析 | 第65-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 集成微型谐振传感器的研制与实验 | 第69-92页 |
| 5.1 集成微型谐振式传感器结构加工 | 第69-75页 |
| 5.1.1 上极板加工 | 第69-75页 |
| 5.1.2 下极板加工、极板键合和封装 | 第75页 |
| 5.2 集成传感器电路设计 | 第75-79页 |
| 5.2.1 激励信号选择 | 第76-77页 |
| 5.2.2 检测电路 | 第77-79页 |
| 5.3 谐振气体传感器振动测试 | 第79-91页 |
| 5.3.1 开环测试 | 第79-84页 |
| 5.3.2 闭环反馈测试 | 第84-88页 |
| 5.3.3 180度移相反馈闭环测试 | 第88-91页 |
| 5.4 本章小结 | 第91-92页 |
| 结论 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99页 |
