| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题的研究目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 表面测量技术概况 | 第8-11页 |
| 1.2.1 接触式探针测量方法 | 第8-9页 |
| 1.2.2 非接触式测量方法 | 第9-11页 |
| 1.2.3 测量方法的发展趋势 | 第11页 |
| 1.3 砂轮表面形貌在磨削中的意义及其表面测量的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.1 砂轮表面形貌在磨削中的研究意义 | 第11-12页 |
| 1.3.2 现有砂轮表面形貌的检测方法 | 第12-13页 |
| 1.4 课题的来源 | 第13-14页 |
| 1.5 本文的主要内容及创新工作 | 第14-16页 |
| 第2章 垂直扫描白光干涉系统测量原理 | 第16-28页 |
| 2.1 光干涉的基本理论 | 第16-18页 |
| 2.1.1 干涉条纹的强度分布 | 第16-18页 |
| 2.1.2 干涉条纹的对比度 | 第18页 |
| 2.2 光学干涉测量的模型 | 第18-20页 |
| 2.3 垂直扫描白光干涉法（VSI）的测量模型 | 第20-26页 |
| 2.3.1 相移干涉技术（PSI） | 第20-22页 |
| 2.3.2 白光干涉测量技术 | 第22-24页 |
| 2.3.3 白光垂直扫描干涉法（VSI） | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 垂直扫描白光干涉仪的光学成像系统及其相关参数 | 第28-38页 |
| 3.1 干涉显微镜的类型 | 第28-29页 |
| 3.2 光学系统的设计 | 第29-33页 |
| 3.3 图像采集及数据处理系统 | 第33页 |
| 3.4 系统的分辨率和测量范围 | 第33-35页 |
| 3.4.1 系统的测量分辨率 | 第33-35页 |
| 3.4.2 系统的测量范围 | 第35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-38页 |
| 第4章 垂直扫描白光干涉系统的数据处理算法研究 | 第38-60页 |
| 4.1 算法介绍 | 第38-48页 |
| 4.1.1 质心算法 | 第39-40页 |
| 4.1.2 白光干涉法 | 第40-41页 |
| 4.1.3 白光干涉相移算法 | 第41-43页 |
| 4.1.4 基于高斯函数的粒子群优化算法 | 第43-48页 |
| 4.2 算法的应用 | 第48-59页 |
| 4.2.1 仿真数据的处理 | 第48-50页 |
| 4.2.2 加噪声的仿真数据的处理 | 第50-51页 |
| 4.2.3 三组已知高度的台阶面数据分析 | 第51-54页 |
| 4.2.4 单刻线样板的采样分析 | 第54-57页 |
| 4.2.5 多刻线样板的采样分析 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 基于垂直扫描白光干涉系统的树脂金刚石砂轮测量 | 第60-80页 |
| 5.1 金刚石砂轮表面形貌的恢复 | 第60-61页 |
| 5.2 砂轮表面金刚石磨粒的识别理论 | 第61-62页 |
| 5.3 磨粒识别理论的验证 | 第62-64页 |
| 5.4 磨粒识别理论应用 | 第64-78页 |
| 5.4.1 基于光强最值差阈值选取的金刚石磨粒识别 | 第64-69页 |
| 5.4.2 边界过程特征提取与识别法 | 第69-77页 |
| 5.4.3 识别方法的比较 | 第77-78页 |
| 5.5 本章小结 | 第78-80页 |
| 第6章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 总结 | 第80页 |
| 6.2 展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86-88页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第88页 |
