| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 太阳能电池简介 | 第10-14页 |
| 1.1.1 太阳能现状 | 第10-11页 |
| 1.1.2 太阳能电池的分类 | 第11-12页 |
| 1.1.3 太阳能电池的主要参数 | 第12-14页 |
| 1.2 ZnO和Cu_2O的物理性质 | 第14-15页 |
| 1.2.1 ZnO的简介 | 第14-15页 |
| 1.2.2 Cu_2O的简介 | 第15页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 太阳能电池的国内研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 太阳能电池的国外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验样品制备技术及表征方法 | 第20-24页 |
| 2.1 制备方法 | 第20-22页 |
| 2.1.1 磁控溅射 | 第20-21页 |
| 2.1.2 实验器材和仪器 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜测试方法 | 第22页 |
| 2.2.1X射线衍射测试 | 第22页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜观测 | 第22页 |
| 2.2.3 原子力显微扫描电镜观测 | 第22页 |
| 2.2.4 紫外可见分光光度计测试 | 第22页 |
| 2.3 器件测试方法 | 第22-24页 |
| 2.3.1 霍尔效应测试 | 第22-23页 |
| 2.3.2 I-V测试 | 第23-24页 |
| 第3章 FTO/ZnO/Cu_2O异质结溅射生长工艺研究 | 第24-38页 |
| 3.1 FTO/ZnO/Cu_2O异质结太阳能电池的基本结构 | 第24页 |
| 3.2 FTO上生长ZnO薄膜溅射工艺参数的优化 | 第24-31页 |
| 3.2.1 不同工艺参数对ZnO薄膜结晶质量的影响 | 第24-29页 |
| 3.2.2 不同工艺参数制备的ZnO薄膜对异质结光电特性的影响 | 第29-31页 |
| 3.3 FTO/ZnO上生长Cu_2O薄膜溅射工艺参数的优化 | 第31-37页 |
| 3.3.1 薄膜的沉积 | 第31页 |
| 3.3.2 不同工艺参数对Cu_2O薄膜结晶质量的影响 | 第31-34页 |
| 3.3.3 不同工艺参数制备的Cu_2O薄膜对异质结光学特性的影响 | 第34-36页 |
| 3.3.4 不同工艺参数制备的Cu_2O薄膜对异质结光电特性的影响 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 FTO/ Cu_2O/ZnO异质结溅射生长工艺研究 | 第38-52页 |
| 4.1 FTO/Cu_2O/ZnO异质结太阳能电池的基本结构 | 第38页 |
| 4.2 FTO上生长Cu_2O薄膜溅射工艺参数的优化 | 第38-45页 |
| 4.2.1 不同工艺参数对Cu_2O薄膜结晶质量的影响 | 第39-42页 |
| 4.2.2 不同工艺参数下制备的Cu_2O对异质结光学特性的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.3 不同工艺参数下制备的Cu_2O对异质结光电特性的影响 | 第44-45页 |
| 4.3 FTO/Cu_2O上生长ZnO薄膜溅射工艺参数的优化 | 第45-51页 |
| 4.3.1 不同工艺参数对ZnO薄膜结晶质量的影响 | 第46-49页 |
| 4.3.2 不同工艺参数制备的ZnO薄膜对异质结光电特性的影响 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 优化生长的FTO/Cu_2O/ZnO异质结太阳能电池的光电性能研究 | 第52-60页 |
| 5.1 Cu_2O沉积过程中氧气流量的优化 | 第52-54页 |
| 5.2 Cu_2O沉积过程中衬底温度的优化 | 第54-57页 |
| 5.3 太阳能电池的光电性能研究 | 第57-58页 |
| 5.3.1 器件的电学特性 | 第57-58页 |
| 5.3.2 器件的光电特性 | 第58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
