静电驱动微桥非线性动力学特性研究

中文摘要	第4-5页
Abstract	第5页
字母注释表	第11-13页
第一章 绪论	第13-30页
1.1 引言	第13-15页
1.2 微机电系统概述	第15-17页
1.3 微型机械与微电子和宏观机械的区别	第17-18页
1.4 常见微机械	第18-24页
1.5 微机电系统动力学	第24-28页
1.6 本文主要工作	第28-30页
第二章 硅质微梁存在结构缺陷的机理	第30-40页
2.1 微机械制造常用材料——硅及其化合物	第30-32页
2.2 硅微机械制造技术	第32-33页
2.3 表面微细加工引起的微梁缺陷	第33-35页
2.4 微桥的振动方程和振型函数	第35-38页
2.5 本章小结	第38-40页
第三章 静电驱动微桥动力学特性分析	第40-54页
3.1 单侧静电驱动微桥的物理及数学模型	第40-43页
3.2 双侧静电驱动微桥的物理及数学模型	第43-46页
3.3 多尺度摄动分析	第46-47页
3.4 理论分析	第47-53页
3.5 本章小结	第53-54页
第四章 设计参数对两侧加压微桥动力学特性的影响	第54-62页
4.1 拱高和板间隙的影响	第54-56页
4.2 几何参数的影响	第56-59页
4.3 加载电压的影响	第59-61页
4.4 本章小结	第61-62页
第五章 总结	第62-64页
5.1 本文总结	第62页
5.2 工作展望	第62-64页
参考文献	第64-70页
发表论文和参加科研情况说明	第70-71页
附录	第71-73页
致谢	第73-74页