| 附件 | 第3-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 碳纳米管传感器概述 | 第11-23页 |
| 1.1 碳纳米管简介 | 第11-12页 |
| 1.2 碳纳米管传感器简介 | 第12-20页 |
| 1.2.1 碳纳米管传感器研究进展 | 第12-16页 |
| 1.2.2 碳纳米管传感器解吸附原理 | 第16页 |
| 1.2.3 碳纳米管传感器解吸附方式研究进展 | 第16-20页 |
| 1.3 集成加热式传感器的研究进展 | 第20-22页 |
| 1.3.1 集成加热式传感器简介 | 第20页 |
| 1.3.2 微加热器简介 | 第20页 |
| 1.3.3 绝缘隔膜PI膜简介 | 第20-21页 |
| 1.3.4 集成加热式传感器研究进展 | 第21-22页 |
| 1.4 本论文的主要工作 | 第22-23页 |
| 第二章 微加热器的结构设计、模拟、制作 | 第23-41页 |
| 2.1 微加热器的工作原理及优异性能 | 第23-24页 |
| 2.2 Ansys有限元分析原理 | 第24页 |
| 2.3 Ansys分析 | 第24-33页 |
| 2.3.1 微加热器的设计 | 第24-33页 |
| 2.3.2 导热机理 | 第33页 |
| 2.4 加热器的制作 | 第33-37页 |
| 2.4.1 lift-off工艺 | 第33-34页 |
| 2.4.2 Cr薄膜加热器 | 第34-36页 |
| 2.4.3 Pt薄膜加热器 | 第36-37页 |
| 2.5 薄膜加热器的性能测试 | 第37-40页 |
| 2.5.1 红外成像 | 第37-39页 |
| 2.5.2 加热器电阻随温度的变化 | 第39-40页 |
| 2.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 绝缘隔膜的制备及性能研究 | 第41-50页 |
| 3.1 S-BPDA/ODA型PI膜的简介 | 第42-43页 |
| 3.2 原料与仪器 | 第43-44页 |
| 3.2.1 实验用原料 | 第43页 |
| 3.2.2 实验用仪器 | 第43-44页 |
| 3.3 S-BPDA/ODA型聚酰亚胺的制备 | 第44-45页 |
| 3.4 S-BPDA/ODA型PI的动态力学性能测试 | 第45-47页 |
| 3.5 S-BPDA/ODA型PI膜碳纳米管的组装 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 集成加热式碳纳米管传感器的制备及性能研究 | 第50-59页 |
| 4.1 传感器结构及工作原理 | 第50页 |
| 4.2 传感器制备流程及工艺研究 | 第50-55页 |
| 4.2.1 传感器制备流程 | 第50-51页 |
| 4.2.2 SWCNTs的前处理 | 第51-52页 |
| 4.2.3 传感器的制备 | 第52-55页 |
| 4.3 传感器性能测试 | 第55-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 工作总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第66页 |