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子孔径拼接干涉检测光学镜面算法的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-29页
    1.1 课题研究背景及意义第11页
    1.2 光学面形检测技术与方法第11-23页
        1.2.1 轮廓测量法第12-14页
        1.2.2 补偿器补偿检测法第14-16页
        1.2.3 CGH补偿检测法第16-17页
        1.2.4 五棱镜扫描检测第17-18页
        1.2.5 二次曲面无像差点检测第18-19页
        1.2.6 莫尔条纹法第19-21页
        1.2.7 哈特曼检测第21-22页
        1.2.8 刀口法第22页
        1.2.9 子孔径拼接检测第22-23页
    1.3 子孔径拼接检测技术的国内外发展现状第23-26页
        1.3.1 子孔径拼接检测技术的国外发展现状第23-26页
        1.3.2 子孔径拼接检测技术的国内发展现状第26页
    1.4 本论文的主要研究内容第26-28页
    1.5 本章小结第28-29页
第2章 光学平面镜的绝对检测第29-47页
    2.1 概述第29页
    2.2 传统拼接模型的弊端及优化算法的提出第29-30页
    2.3 绝对拼接检测的数学模型第30-39页
        2.3.1 最大似然估计模型第30-38页
        2.3.2 正交化模型第38-39页
    2.4 绝对拼接检测计算机模拟实验第39-45页
    2.5 本章小结第45-47页
第3章 子孔径拼接检测球面数学模型与模拟实验第47-69页
    3.1 概述第47页
    3.2 子孔径规划的数学模型第47-51页
    3.3 三角剖分算法模型第51-62页
        3.3.1 三角剖分插值计算第52-57页
        3.3.2 子孔径拼接系数计算第57-59页
        3.3.3 重叠区域相位值计算第59-62页
        3.3.4 二维互相关计算第62页
    3.4 子孔径拼接检测球面镜实验第62-65页
    3.5 自检验精度分析第65-66页
    3.6 本章小结第66-69页
第4章 圆形子孔径拼接检测非球面数学模型与模拟实验第69-91页
    4.1 概述第69页
    4.2 圆形子孔径拼接检测的总体方案与步骤第69-70页
    4.3 子孔径最接近球面求解数学模型第70-74页
        4.3.1 标准二次曲面最接近球面求解模型第70-73页
        4.3.2 任意形式非球面最接近球面求解模型第73-74页
    4.4 子孔径规划数学模型第74-78页
    4.5 子孔径拼接非零位检测非球面镜算法模型第78-85页
        4.5.1 非共路误差计算数学模型第79-84页
        4.5.2 非球面投影畸变校正数学模型第84-85页
    4.6 子孔径非零位拼接检测实验第85-90页
    4.7 本章小结第90-91页
第5章 混合补偿子孔径拼接检测数学模型第91-101页
    5.1 概述第91页
    5.2 混合补偿子孔径拼接检测非球面数学模型第91-92页
    5.3 混合拼接补偿实验第92-96页
    5.4 加工与检测结果对准数学模型第96-100页
    5.5 本章小结第100-101页
第6章 子孔径拼接仪第101-117页
    6.1 概述第101页
    6.2 子孔径拼接仪介绍第101-106页
    6.3 子孔径拼接软件介绍第106-109页
    6.4 子孔径拼接实验第109-116页
        6.4.1 平面镜拼接检测实验第109-112页
        6.4.2 环形子孔径拼接检测实验第112-114页
        6.4.3 凸非球面镜拼接检测实验第114-116页
    6.5 本章小结第116-117页
第7章 结论与展望第117-121页
    7.1 全文总结第117-119页
    7.2 研究展望第119-121页
        7.2.1 误差解耦算法中中高频信息的分离第119页
        7.2.2 大口径凸非球面及自由曲面的拼接检测第119页
        7.2.3 子孔径拼接仪的工程化第119-121页
参考文献第121-129页
学期间学术成果情况第129-131页
指导教师及作者简介第131-133页
致谢第133页

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