旋转滞止面火焰合成法制备纳米TiO2气体传感器的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 引言 | 第13-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第13-14页 |
| 1.2 研究综述 | 第14-27页 |
| 1.2.1 SMO传感器 | 第14-19页 |
| 1.2.2 SMO传感器传统制备方法 | 第19-21页 |
| 1.2.3 SMO传感器的火焰合成制备法 | 第21-27页 |
| 1.3 本文的研究内容和思路 | 第27-29页 |
| 第2章 实验方法 | 第29-54页 |
| 2.1 本章引言 | 第29页 |
| 2.2 旋转滞止面火焰合成系统 | 第29-34页 |
| 2.2.1 配气系统 | 第30-32页 |
| 2.2.2 前驱物加入系统 | 第32-33页 |
| 2.2.3 旋转沉积系统 | 第33-34页 |
| 2.3 气敏感应测试系统 | 第34-49页 |
| 2.3.1 系统组成 | 第35-38页 |
| 2.3.2 传感器基板温度分布 | 第38-45页 |
| 2.3.3 气氛切换过程分析 | 第45-47页 |
| 2.3.4 系统测试精度 | 第47-49页 |
| 2.4 数值模拟方法 | 第49-53页 |
| 2.4.1 CFD模拟 | 第49-51页 |
| 2.4.2 燃烧反应机理模拟 | 第51-52页 |
| 2.4.3 分子动力学模拟 | 第52-53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第3章 乙烯总包反应机理研究 | 第54-63页 |
| 3.1 本章引言 | 第54页 |
| 3.2 机理优化 | 第54-58页 |
| 3.3 机理校验 | 第58-61页 |
| 3.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第4章 运动滞止面对火焰合成过程影响研究 | 第63-94页 |
| 4.1 本章引言 | 第63-64页 |
| 4.2 计算模型 | 第64-65页 |
| 4.3 滞止面运动强度影响 | 第65-82页 |
| 4.3.1 温度场影响 | 第66-69页 |
| 4.3.2 轴向速度场影响 | 第69-73页 |
| 4.3.3 颗粒沉积过程影响 | 第73-82页 |
| 4.4 火焰拉伸率影响 | 第82-91页 |
| 4.4.1 温度场影响 | 第82-84页 |
| 4.4.2 轴向速度场影响 | 第84-86页 |
| 4.4.3 颗粒沉积过程影响 | 第86-91页 |
| 4.5 综合分析 | 第91-92页 |
| 4.6 本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 传感器制备工艺研究 | 第94-105页 |
| 5.1 本章引言 | 第94页 |
| 5.2 传感器基板 | 第94-95页 |
| 5.3 颗粒及薄膜制备 | 第95-101页 |
| 5.3.1 甲烷火焰滞止面温度 | 第95-97页 |
| 5.3.2 颗粒合成 | 第97-100页 |
| 5.3.3 薄膜沉积 | 第100-101页 |
| 5.4 后处理 | 第101-103页 |
| 5.4.1 致密化处理 | 第101-102页 |
| 5.4.2 烧结处理 | 第102-103页 |
| 5.5 本章小结 | 第103-105页 |
| 第6章 传感器气敏感应特性研究 | 第105-138页 |
| 6.1 本章引言 | 第105页 |
| 6.2 传感器测试方案 | 第105-109页 |
| 6.2.1 气源纯度要求 | 第105-106页 |
| 6.2.2 传感器基板电阻修正 | 第106-108页 |
| 6.2.3 测试电压影响 | 第108-109页 |
| 6.3 传感器氧感应机理研究 | 第109-117页 |
| 6.3.1 传感器制备条件 | 第109页 |
| 6.3.2 传感器氧感应性能 | 第109-114页 |
| 6.3.3 氧感应机制分析 | 第114-117页 |
| 6.4 沉积时间影响研究 | 第117-122页 |
| 6.4.1 研究方法 | 第117页 |
| 6.4.2 沉积时间影响 | 第117-122页 |
| 6.5 致密化处理研究 | 第122-126页 |
| 6.6 烧结处理研究 | 第126-133页 |
| 6.6.1 烧结温度影响研究 | 第127-129页 |
| 6.6.2 烧结气氛氧浓度影响研究 | 第129-133页 |
| 6.7 一氧化碳感应性能 | 第133-136页 |
| 6.8 本章小结 | 第136-138页 |
| 第7章 纳米颗粒烧结过程分子动力学研究 | 第138-167页 |
| 7.1 本章引言 | 第138页 |
| 7.2 单颗粒升温过程 | 第138-144页 |
| 7.2.1 计算模型 | 第138-139页 |
| 7.2.2 单颗粒 7.5 ? 升温过程 | 第139-142页 |
| 7.2.3 单颗粒 15 ? 升温过程 | 第142-144页 |
| 7.2.4 对比小结 | 第144页 |
| 7.3 表面原子特性研究 | 第144-152页 |
| 7.3.1 空间网格化 | 第145-147页 |
| 7.3.2 表面原子识别模型 | 第147-149页 |
| 7.3.3 表面特性分析 | 第149-152页 |
| 7.3.4 小结 | 第152页 |
| 7.4 两颗粒烧结过程研究 | 第152-166页 |
| 7.4.1 计算模型 | 第153页 |
| 7.4.2 烧结颈原子识别模型 | 第153-158页 |
| 7.4.3 烧结过程研究 | 第158-165页 |
| 7.4.4 小结 | 第165-166页 |
| 7.5 本章小结 | 第166-167页 |
| 第8章 结论与展望 | 第167-170页 |
| 8.1 主要结论 | 第167-168页 |
| 8.2 创新点 | 第168-169页 |
| 8.3 未来工作展望 | 第169-170页 |
| 参考文献 | 第170-180页 |
| 致谢 | 第180-183页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第183-184页 |
