| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 微机电系统概述 | 第14-16页 |
| 1.2 微驱动技术研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 本文的研究目的及意义 | 第18-19页 |
| 1.4 本文的主要研究内容及成果 | 第19-22页 |
| 2 微驱动技术及工作原理 | 第22-38页 |
| 2.1 静电型驱动器 | 第22-23页 |
| 2.2 压电型驱动器 | 第23-26页 |
| 2.3 电磁型驱动器 | 第26-27页 |
| 2.4 电热驱动技术 | 第27-33页 |
| 2.5 形状记忆合金驱动技术 | 第33-35页 |
| 2.6 光热微驱动技术 | 第35-38页 |
| 3 光热膨胀机制及理论研究 | 第38-67页 |
| 3.1 光热膨胀的微观机制 | 第38-50页 |
| 3.1.1 金属对光的吸收 | 第40-42页 |
| 3.1.2 金属内部的热传导 | 第42-44页 |
| 3.1.3 金属表面的散热 | 第44-49页 |
| 3.1.4 热平衡的建立与热膨胀 | 第49-50页 |
| 3.2 金属光热微驱动器的稳态模型 | 第50-59页 |
| 3.2.1 光热微膨胀臂模型 | 第50-52页 |
| 3.2.2 光热微膨胀臂一维简化模型 | 第52-56页 |
| 3.2.3 光热微膨胀臂温度分布及形变仿真计算 | 第56-59页 |
| 3.3 金属光热微驱动器的瞬态模型 | 第59-67页 |
| 3.3.1 瞬态温度分布及形变 | 第60-61页 |
| 3.3.2 光热微膨胀臂的动态响应 | 第61-67页 |
| 4 金属光热微驱动器制备工艺与驱动装置 | 第67-76页 |
| 4.1 金属光热微驱动器制备 | 第67-70页 |
| 4.1.1 LIGA技术 | 第67-69页 |
| 4.1.2 北京同步辐射光源LIGA线站 | 第69-70页 |
| 4.2 驱动控制与显微观测系统 | 第70-76页 |
| 4.2.1 系统总体设计 | 第70-72页 |
| 4.2.2 光热驱动控制模块 | 第72页 |
| 4.2.3 显微观测模块 | 第72-76页 |
| 5 三角形金属光热微驱动器驱动研究 | 第76-91页 |
| 5.1 驱动原理与结构设计 | 第76-80页 |
| 5.2 静态特性研究 | 第80-83页 |
| 5.2.1 仿真研究 | 第80-82页 |
| 5.2.2 驱动实验 | 第82-83页 |
| 5.3 动态特性研究 | 第83-86页 |
| 5.3.1 仿真研究 | 第83-84页 |
| 5.3.2 驱动实验 | 第84-86页 |
| 5.4 主要参数对光热微驱动器性能的影响 | 第86-91页 |
| 5.4.1 热膨胀系数对光热微驱动器性能的影响 | 第86-87页 |
| 5.4.2 热传导系数对光热微驱动器性能的影响 | 第87-88页 |
| 5.4.3 微驱动器整体尺寸对光热微驱动器性能的影响 | 第88-91页 |
| 6 新型光热微驱动机构 | 第91-105页 |
| 6.1 棘轮棘爪光热微驱动马达 | 第91-102页 |
| 6.1.1 驱动原理 | 第91-98页 |
| 6.1.2 实验制备 | 第98-99页 |
| 6.1.3 驱动实验 | 第99-102页 |
| 6.2 蠕动光热爬行机构 | 第102-105页 |
| 6.2.1 驱动原理 | 第102-103页 |
| 6.2.2 样品制备 | 第103-104页 |
| 6.2.3 驱动实验 | 第104-105页 |
| 7 总结与展望 | 第105-108页 |
| 7.1 总结 | 第105-106页 |
| 7.2 展望 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-118页 |
| 博士期间发表论文情况及其他研究成果 | 第118-119页 |
| 个人简历 | 第119页 |