| 学位论文数据集 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 本课题研究背景和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 晶圆制造系统工艺简介与特点分析 | 第14-17页 |
| 1.2.1 晶圆制造工艺流程 | 第14-16页 |
| 1.2.2 晶圆制造系统特点分析 | 第16-17页 |
| 1.3 晶圆制造系统调度方法研究现状 | 第17-22页 |
| 1.3.1 晶圆制造系统性能指标 | 第17-18页 |
| 1.3.2 晶圆制造系统调度方法研究现状 | 第18-19页 |
| 1.3.3 多智能体技术研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 本论文的结构 | 第22-23页 |
| 第二章 基于多智能体的晶圆制造系统调度架构 | 第23-31页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 智能体的内部结构 | 第23-25页 |
| 2.3 基于多智能体的晶圆制造系统调度架构 | 第25-27页 |
| 2.4 智能体间的交互模式 | 第27-30页 |
| 2.4.1 基于信息传递的交互模式 | 第27-29页 |
| 2.4.2 基于合同网的协商交互模式 | 第29-30页 |
| 2.5 本章结论 | 第30-31页 |
| 第三章 基于多智能体的加工区并行机调度方法 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 问题描述 | 第31-34页 |
| 3.3 博弈模型 | 第34-35页 |
| 3.4 改进的基于知识多智能体进化方法的博弈模型求解 | 第35-41页 |
| 3.4.1 编码解码方式 | 第36-38页 |
| 3.4.2 基于启发式的初始化机制 | 第38页 |
| 3.4.3 进化机制 | 第38-41页 |
| 3.5 仿真对比实验及分析 | 第41-46页 |
| 3.6 本章结论 | 第46-47页 |
| 第四章 基于多智能体的晶圆制造系统重调度方法 | 第47-59页 |
| 4.1 引言 | 第47-48页 |
| 4.2 基于多智能体的晶圆制造系统重调度策略 | 第48-50页 |
| 4.3 基于多智能体的晶圆制造系统重调度方法 | 第50-54页 |
| 4.3.1 工件优先级动态调整 | 第50-52页 |
| 4.3.2 基于合同网协商机制的资源重配置 | 第52-54页 |
| 4.4 重调度评价 | 第54页 |
| 4.5 仿真对比实验及分析 | 第54-58页 |
| 4.6 本章结论 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 全文结论 | 第59页 |
| 5.2 问题与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第67-69页 |
| 作者和导师简介 | 第69-71页 |
| 附件 | 第71-72页 |