| 摘要 | 第6-8页 |
| abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 课题来源 | 第14页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外研究概况 | 第15-23页 |
| 1.3.1 微加工技术概述 | 第15-16页 |
| 1.3.2 飞秒激光技术的发展 | 第16-17页 |
| 1.3.3 飞秒激光微加工特点及应用 | 第17-21页 |
| 1.3.4 飞秒激光双光子微加工研究概况 | 第21-23页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 飞秒激光双光子微加工机理及系统 | 第25-47页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 飞秒激光与物质的相互作用 | 第25-26页 |
| 2.3 双光子吸收原理 | 第26-30页 |
| 2.3.1 双光子吸收过程 | 第26-27页 |
| 2.3.2 双光子吸收的理论模型 | 第27-30页 |
| 2.4 飞秒激光双光子聚合加工原理及特点 | 第30-34页 |
| 2.4.1 飞秒激光双光子微加工原理 | 第30页 |
| 2.4.2 飞秒激光双光子微加工的特点 | 第30-32页 |
| 2.4.3 飞秒激光双光子聚合材料 | 第32-34页 |
| 2.5 飞秒激光微加工系统 | 第34-46页 |
| 2.5.1 实验系统的组成 | 第34-42页 |
| 2.5.2 扫描方式 | 第42-44页 |
| 2.5.3 曝光方式 | 第44-45页 |
| 2.5.4 影响飞秒激光微加工质量的因素分析 | 第45-46页 |
| 2.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 折射率不同对微加工的影响及其补偿方法 | 第47-67页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 光在不同介质中传播的理论分析 | 第47-51页 |
| 3.3 加工点光斑强度的数值模拟 | 第51-54页 |
| 3.4 像差计算及分析 | 第54-56页 |
| 3.5 像差补偿理论及实验 | 第56-66页 |
| 3.5.1 离焦点扩散函数 | 第56-57页 |
| 3.5.2 球差补偿模型 | 第57-58页 |
| 3.5.3 球差补偿数值模拟 | 第58-59页 |
| 3.5.4 球差补偿方法 | 第59-60页 |
| 3.5.5 球差补偿实验 | 第60-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形 | 第67-87页 |
| 4.1 引言 | 第67页 |
| 4.2 加工点光斑模型 | 第67-70页 |
| 4.3 飞秒激光微加工光斑的轴向整形 | 第70-74页 |
| 4.3.1 轴向整形机理 | 第70-72页 |
| 4.3.2 轴向整形相位板的参数优化与数值模拟 | 第72-74页 |
| 4.4 飞秒激光微加工光斑的横向整形 | 第74-76页 |
| 4.4.1 横向整形机理 | 第74-75页 |
| 4.4.2 横向整形相位板的参数优化与数值模拟 | 第75-76页 |
| 4.5 飞秒激光微加工光斑的三维整形 | 第76-79页 |
| 4.5.1 三维整形相位板的参数优化与数值模拟 | 第76-77页 |
| 4.5.2 光斑三维整形实验 | 第77-79页 |
| 4.6 改善加工点光斑对称性的光束整形方法 | 第79-86页 |
| 4.6.1 通过增加柱透镜组对光束进行整形 | 第80页 |
| 4.6.2 通过增加预聚焦透镜对光束进行整形 | 第80-83页 |
| 4.6.3 通过引入狭缝光阑对光束进行整形 | 第83-86页 |
| 4.7 本章小结 | 第86-87页 |
| 第五章 扫描步距对微加工质量的影响及优化方法 | 第87-98页 |
| 5.1 引言 | 第87页 |
| 5.2 固化单元覆盖率的数学模型 | 第87-90页 |
| 5.2.1 固化单元的光强分布 | 第87-88页 |
| 5.2.2 覆盖率的数学模型 | 第88-89页 |
| 5.2.3 覆盖率对加工质量与加工效率的影响 | 第89-90页 |
| 5.3 扫描步距与微器件表面质量特征参数之间的定量关系 | 第90-94页 |
| 5.3.1 理论分析 | 第90-92页 |
| 5.3.2 数值模拟 | 第92-93页 |
| 5.3.3 实验验证 | 第93-94页 |
| 5.4 连续变步距扫描加工方法 | 第94-96页 |
| 5.4.1 工作原理 | 第94-95页 |
| 5.4.2 实验验证 | 第95-96页 |
| 5.5 本章小结 | 第96-98页 |
| 第六章 结论与展望 | 第98-101页 |
| 6.1 结论 | 第98-100页 |
| 6.2 展望 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-113页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第113-114页 |
| 作者在攻读博士学位期间所作的项目 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115页 |