| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 缩略词表 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 触觉传感器简介 | 第12-24页 |
| 1.2.1 触觉传感器 | 第12-16页 |
| 1.2.2 柔性触觉传感器的材料及应用工艺 | 第16-23页 |
| 1.2.3 柔性触觉传感器的研究现状和研究意义 | 第23-24页 |
| 1.3 论文研究内容和各章节安排 | 第24-27页 |
| 1.3.1 论文的研究内容 | 第24页 |
| 1.3.2 各章节内容安排 | 第24-27页 |
| 2 电容传感器结构设计与分析 | 第27-41页 |
| 2.1 PPS电容阵列柔性触觉传感器 | 第27-35页 |
| 2.1.1 电容结构设计 | 第27-30页 |
| 2.1.2 电容值的估算及灵敏度优化分析 | 第30-32页 |
| 2.1.3 电容阵列串扰分析 | 第32-35页 |
| 2.2 CIS电容阵列柔性触觉传感器 | 第35-39页 |
| 2.2.1 电容结构的分析与设计 | 第35-38页 |
| 2.2.2 电容值的估算 | 第38-39页 |
| 2.3 本章小结 | 第39-41页 |
| 3 电容传感器制备与测试 | 第41-63页 |
| 3.1 电容传感器的工艺制备 | 第41-58页 |
| 3.1.1 PPS电容阵列柔性触觉传感器的工艺制备 | 第41-52页 |
| 3.1.2 CIS电容阵列柔性触觉传感器的工艺制备 | 第52-58页 |
| 3.2 电容传感器测试 | 第58-61页 |
| 3.2.1 PPS和CIS灵敏度的测试 | 第58-60页 |
| 3.2.2 PPS和CIS灵敏度的温度特性测试及其稳定性 | 第60-61页 |
| 3.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 4 电容传感器的应用试验 | 第63-73页 |
| 4.1 传感器制备 | 第63-65页 |
| 4.2 测试电路 | 第65-69页 |
| 4.2.1 总体设计方案 | 第65-66页 |
| 4.2.2 测试电路设计 | 第66-69页 |
| 4.3 机械手指组装与试验 | 第69-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 5 总结与展望 | 第73-77页 |
| 5.1 论文主要研究内容和成果 | 第73-74页 |
| 5.2 论文的不足之处及进一步工作 | 第74-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第83页 |
