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III-V族半导体纳米线的分子束外延生长及物理性质研究

致谢第1-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-13页
1 绪论第13-23页
   ·III-V 族半导体纳米线的发展和应用第13-15页
   ·III-V 族半导体纳米线的生长技术第15-18页
     ·模板导向生长第15-16页
     ·自由站立生长第16-18页
   ·MBE 中 III-V 族纳米线的 Au 催化外延生长第18-20页
   ·III-V 族半导体纳米线材料制备的挑战第20-21页
   ·本论文的内容纲要第21-23页
2 实验技术简介第23-35页
   ·分子束外延技术第23-27页
     ·MBE 技术的优势第24-25页
     ·本实验室的 MBE 系统第25-26页
     ·III-V 族半导体纳米线的生长工艺第26-27页
   ·电子显微技术第27-32页
     ·扫描电子显微(SEM)技术第28-30页
     ·透射电子显微(TEM)技术第30-32页
   ·光谱测试技术第32-33页
   ·本章小结第33-35页
3 GaAs 纳米线的外延生长及物性研究第35-53页
   ·GaAs 纳米线外延生长的具体工艺第36-37页
   ·GaAs 纳米线的分子束外延生长第37-42页
     ·生长温度对 GaAs 纳米线形貌的影响第37-40页
     ·V/III 束流比对 GaAs 纳米线形貌的影响第40-42页
   ·不同生长条件下 GaAs 纳米线的晶体结构第42-45页
     ·不同生长温度下 GaAs 纳米线晶体结构的区别第42-45页
     ·不同 V/III 束流比下 GaAs 纳米线晶体结构的区别第45页
   ·GaAs 纳米线的荧光光谱特性第45-50页
     ·GaAs 纳米线的非本征激发第46-47页
     ·GaAs 纳米线自由激子峰的变温研究第47-49页
     ·GaAs 纳米线时间分辨荧光光谱的研究第49-50页
   ·GaAs 纳米线的拉曼光谱特性第50-51页
   ·本章小结第51-53页
4 GaAs-AlGaAs 芯-壳纳米线的外延生长及物性研究第53-65页
   ·GaAs-AlGaAs 芯-壳纳米线的分子束外延生长第53-54页
   ·GaAs-AlGaAs 芯-壳纳米线的形貌特性第54-56页
   ·GaAs-AlGaAs 芯-壳纳米线的晶体结构及壳层的 Al 组分分布第56-60页
   ·GaAs-AlGaAs 芯-壳纳米线的荧光光谱特性第60-63页
   ·本章小结第63-65页
5 Bi 元素对 GaAs 纳米线生长的调控作用第65-79页
   ·实验过程第66-67页
   ·纳米线形貌第67-68页
   ·纳米线的晶体结构第68-72页
   ·机理分析第72-77页
   ·本章总结第77-79页
6 InAs 纳米线的异质外延生长研究第79-93页
   ·InAs 纳米线异质外延生长的工艺窗口第80-84页
     ·实验过程第80页
     ·InAs 纳米线生长的温度窗口第80-82页
     ·InAs 纳米线生长的 V/III 束流比窗口第82-84页
   ·InAs 纳米线的晶体结构及 Au 催化剂尺寸对其的影响第84页
   ·不同晶向的 GaAs 衬底上生长 InAs 纳米线的形貌特征第84-87页
   ·Au 催化剂尺寸对 InAs 纳米线晶体结构的调控第87-90页
   ·本章小结第90-93页
7 总结与展望第93-97页
   ·论文总结第93-95页
   ·后续展望第95-97页
参考文献第97-115页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第115-116页

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