| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 引言 | 第14-28页 |
| 1. 尖晶石结构锰氧化物简介 | 第14-17页 |
| 2 锰钴镍氧薄膜材料的应用领域及发展前景 | 第17-19页 |
| 3 锰钴镍氧(Mn-Co-Ni-O)薄膜的研究进展 | 第19-23页 |
| 4 本论文研究的内容和意义 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-28页 |
| 第一章 Mn-Co-Ni-O 薄膜材料的制备、表征和研究方法 | 第28-41页 |
| ·Mn-Co-Ni-O 薄膜材料的制备 | 第28-31页 |
| ·Mn-Co-Ni-O 薄膜的化学溶液法制备 | 第28-30页 |
| ·Mn-Co-Ni-O 薄膜的磁控溅射法制备 | 第30-31页 |
| ·材料结构形貌表征方法 | 第31-33页 |
| ·X 射线衍射方法(XRD) | 第31-32页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第32页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第32-33页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第33页 |
| ·材料的物理性质测试 | 第33-40页 |
| ·XPS 测试 | 第34页 |
| ·电学测试 | 第34-36页 |
| ·光学测试 | 第36-40页 |
| 参考文献 | 第40-41页 |
| 第二章 磁控溅射 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4薄膜的形貌及微结构表征 | 第41-52页 |
| ·锰钴镍氧(MCN)薄膜的磁控溅射制备 | 第42-43页 |
| ·MCN 薄膜的结构、形貌及组分表征 | 第43-48页 |
| ·MCN 薄膜材料的组分表征 | 第43-45页 |
| ·MCN 薄膜材料 X 射线衍射分析 | 第45-46页 |
| ·MCN 薄膜材料形貌测试 | 第46-48页 |
| ·MCN 薄膜材料的择优取向分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第三章 磁控溅射 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4薄膜的电学性质研究 | 第52-70页 |
| ·样品制备及实验方法 | 第52-55页 |
| ·MCN 薄膜表面形貌及微结构分析 | 第55-57页 |
| ·MCN 薄膜的 XPS 谱分析及离子分布估计 | 第57-59页 |
| ·变溅射功率及后退火时长制备 MCN 薄膜电学性质研究 | 第59-66页 |
| ·变溅射功率制备 MCN 薄膜电学性质研究 | 第59-62页 |
| ·变后退火条件下 MCN 薄膜电学性质研究 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第四章 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4(MCN)薄膜光学性质研究 | 第70-84页 |
| ·磁控溅射法 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4(MCN)薄膜透射光谱研究 | 第70-72页 |
| ·不同退火条件 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4(MCN)薄膜椭偏光谱研究 | 第72-80页 |
| ·光学性质测试方法及色散函数模型 | 第72-75页 |
| ·变退火 MCN 薄膜的离子分布 | 第75-76页 |
| ·MCN 薄膜中红外光学性质研究 | 第76-78页 |
| ·MCN 薄膜可见-近红外光学吸收性质研究 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 第五章 磁控溅射 Mn1.4Co1.0Ni0.6O4薄膜低频噪声及探测性能研究 | 第84-103页 |
| ·热敏器件的低频噪声和光电响应分析 | 第84-90页 |
| ·低频(1/f)噪声分析 | 第84-87页 |
| ·热敏器件的光电响应分析 | 第87-90页 |
| ·锰钴镍氧薄膜器件的制备及探测性能表征系统 | 第90-96页 |
| ·低频(1/f)噪声测试样品的制备 | 第90-92页 |
| ·热敏红外探测器件的制备 | 第92-94页 |
| ·锰钴镍氧薄膜器件探测性能表征系统 | 第94-96页 |
| ·不同退火条件下 MCN 薄膜的低频噪声性能研究 | 第96-97页 |
| ·磁控溅射制备 MCN 薄膜的器件性能研究 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-103页 |
| 第六章 浸没式锰钴镍氧薄膜器件及锰钴镍铜氧器件研究 | 第103-122页 |
| ·浸没式锰钴镍氧薄膜器件研究 | 第103-109页 |
| ·MCN 薄膜制备表征及器件制作方法 | 第103-107页 |
| ·MCN 器件性能测试方法 | 第107-108页 |
| ·MCN 器件特性参数测试 | 第108-109页 |
| ·锰钴镍铜氧薄膜器件制备及性能研究 | 第109-118页 |
| ·MCNC 薄膜材料及器件的制备和测试方法 | 第110-111页 |
| ·MCNC 热敏薄膜结构及电学性质表征 | 第111-112页 |
| ·MCNC 热敏薄膜器件基本探测性能 | 第112-117页 |
| ·MCNC 热敏薄膜老化特性研究 | 第117-118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-122页 |
| 第七章 总结与展望 | 第122-125页 |
| 1. 总结 | 第122-124页 |
| 2. 展望 | 第124-125页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第125-126页 |
