二氧化锡薄膜的结构和光电性质研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-26页 |
| ·透明导电氧化物概述 | 第8-9页 |
| ·SnO_2材料的性质及应用 | 第9-15页 |
| ·SnO_2的结构和光学性质 | 第9-12页 |
| ·SnO_2的电学性质 | 第12-15页 |
| ·SnO_2薄膜的制备方法 | 第15-18页 |
| ·磁控溅射法 | 第15页 |
| ·喷雾热解法 | 第15-16页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第16-17页 |
| ·化学气相沉积法 | 第17页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第17-18页 |
| ·SnO_2材料的研究进展 | 第18-25页 |
| ·SnO_2材料 p 型掺杂的研究进展 | 第19-21页 |
| ·SnO_2材料电输运性质的研究进展 | 第21-25页 |
| ·本文的主要工作 | 第25-26页 |
| 第二章 样品的制备及测量 | 第26-35页 |
| ·样品的制备 | 第26-29页 |
| ·磁控溅射基本原理 | 第26-28页 |
| ·靶材及样品的制备过程 | 第28-29页 |
| ·样品的测量 | 第29-35页 |
| ·样品的结构表征 | 第29-30页 |
| ·样品的形貌表征 | 第30-33页 |
| ·样品光学性质的表征 | 第33-34页 |
| ·样品电学性质的测量 | 第34-35页 |
| 第三章 纯SnO_2薄膜的物性研究 | 第35-55页 |
| ·样品的结构、形貌分析 | 第35-39页 |
| ·XRD结果分析 | 第35-37页 |
| ·SEM及AFM结果分析 | 第37-39页 |
| ·光学结果分析 | 第39-45页 |
| ·SnO_2薄膜的透射谱及光学带隙 | 第39-41页 |
| ·SnO_2薄膜的光致发光性质 | 第41-45页 |
| ·电输运性质的研究 | 第45-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 掺杂SnO_2薄膜的物性研究 | 第55-67页 |
| ·Mg掺SnO_2薄膜的研究 | 第55-60页 |
| ·SnO-2:Mg薄膜的结构分析 | 第55-59页 |
| ·SnO-2:Mg薄膜的光学分析 | 第59-60页 |
| ·Al掺SnO_2薄膜的研究 | 第60-66页 |
| ·Al掺SnO_2薄膜的结构分析 | 第61-62页 |
| ·Al掺SnO_2薄膜的光学性质分析 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-78页 |
| 硕士在读期间已发表和已完成的论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
