| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-12页 |
| ·极紫外光源中高功率 CO_2脉冲激光器的研究进展 | 第9-10页 |
| ·调 Q 技术的发展及应用 | 第10-11页 |
| ·本课题的目的及研究工作 | 第11-12页 |
| 2 机械调 Q CO_2激光器谐振腔的设计方案及稳定性的分析 | 第12-25页 |
| ·机械调 Q CO_2激光器谐振腔的设计方案 | 第12-14页 |
| ·光学谐振腔稳定性的分析 | 第14-20页 |
| ·光学谐振腔的高斯光束 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 3 机械调 Q CO_2激光器动力学过程的模拟仿真 | 第25-37页 |
| ·CO_2激光器的能级结构 | 第25-26页 |
| ·CO_2激光器四能级模型 | 第26-27页 |
| ·机械调 Q CO_2激光器的内部参数 | 第27-29页 |
| ·机械调 Q CO_2激光器的模拟仿真 | 第29-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 4 机械调 Q CO_2激光器 | 第37-54页 |
| ·轴快流 CO_2激光器的结构 | 第37-38页 |
| ·机械调 Q CO_2激光器的实验装置 | 第38-39页 |
| ·机械调 Q CO_2激光器的测试装置、实验结果及输出特性研究 | 第39-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 5 结论与展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 附录 攻读硕士学位期间申请的发明专利目录 | 第61页 |
