射频板条CO₂激光器电极表面镀膜及放电控制的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·高功率射频板条CO_2激光器	第8-10页
·氧化铝薄膜的制备技术	第10-11页
·激光器功率控制技术	第11页
·本论文的意义和研究内容	第11-14页
2 板条电极波导膜的光学特性分析	第14-24页
·电极表面镀膜的技术要求	第14-15页
·氧化铝膜的反常色散效应	第15-17页
·氧化铝膜对CO_2激光折射率的测定方法	第17-21页
·非稳-波导混合腔传输损耗的计算	第21-23页
·本章小结	第23-24页
3 溶胶-凝胶法在铜表面制备氧化铝膜	第24-36页
·溶胶-凝胶法的实验方案	第24页
·氧化铝膜的制备实验	第24-28页
·镀膜结果的检测与分析	第28-35页
·本章小结	第35-36页
4 化学气相沉积法在铜表面制备氧化铝膜	第36-45页
·化学气相沉积法的实验方案	第36-38页
·制备氧化铝膜的实验流程	第38-40页
·实验结果测试与分析	第40-44页
·本章小结	第44-45页
5 磁控溅射法在板条电极上制备铝膜	第45-52页
·铜样品上制备铝膜的实验	第45-49页
·板条电极上制备铝膜的实验	第49-51页
·本章小结	第51-52页
6 激光功率控制系统的硬件设计和软件开发	第52-63页
·激光功率控制系统的硬件设计	第52-57页
·激光功率控制系统的软件开发	第57-62页
·本章小结	第62-63页
7 总结与展望	第63-65页
致谢	第65-66页
参考文献	第66-69页