反射式超精密定位技术的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·超精密定位技术的相关研究 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·精密位置检测技术 | 第10-13页 |
| ·精密驱动技术 | 第13-14页 |
| ·本课题的研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 精密位置测量理论及仿真 | 第15-29页 |
| ·叠栅式测量概述 | 第15-16页 |
| ·叠栅的衍射原理 | 第16-20页 |
| ·叠栅的透射特性 | 第16-18页 |
| ·单级叠栅的衍射原理 | 第18页 |
| ·级叠栅的衍射原理 | 第18-20页 |
| ·反射式双极叠栅衍射系统的理论分析 | 第20-25页 |
| ·反射式双极叠栅衍射方程的推导 | 第20-23页 |
| ·叠栅间隙的确定 | 第23-25页 |
| ·反射式双极叠栅衍射模型的数值仿真 | 第25-28页 |
| ·数值分析基础 | 第25-27页 |
| ·叠栅信号的仿真结果 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 反射式精密定位系统的设计 | 第29-42页 |
| ·反射式精密定位系统设计概要 | 第29-30页 |
| ·光路系统设计 | 第30-31页 |
| ·半导体激光器 | 第30页 |
| ·激光分光系统 | 第30-31页 |
| ·激光接收系统 | 第31页 |
| ·光电检测系统的设计 | 第31-34页 |
| ·光电探测器 | 第31-32页 |
| ·输入电路 | 第32页 |
| ·二阶有源低通滤波器 | 第32-33页 |
| ·调零电路 | 第33-34页 |
| ·宏定位系统设计 | 第34-37页 |
| ·步进电机驱动 | 第35-36页 |
| ·精密滚珠丝杠 | 第36-37页 |
| ·微定位系统设计 | 第37-41页 |
| ·压电陶瓷及驱动器 | 第37-40页 |
| ·柔性铰链设计与分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 精密定位控制技术的研究 | 第42-58页 |
| ·反射式精密定位原理 | 第42-43页 |
| ·宏定位原理 | 第42-43页 |
| ·微定位原理 | 第43页 |
| ·反射式精密定位实验研究 | 第43-48页 |
| ·宏/微定位算法设计 | 第43-45页 |
| ·实验结果 | 第45-46页 |
| ·实验结果分析 | 第46-48页 |
| ·宏定位系统的智能控制 | 第48-53页 |
| ·模糊控制简介 | 第48-49页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第49-52页 |
| ·实验结果及分析 | 第52-53页 |
| ·微定位系统的智能控制 | 第53-57页 |
| ·模糊神经网络PID控制 | 第53页 |
| ·模糊化模块 | 第53-56页 |
| ·模糊神经网络PID控制算法 | 第56页 |
| ·仿真结果及分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·回顾与总结 | 第58页 |
| ·后续研究工作与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
