| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·研究背景 | 第10-13页 |
| ·研究现状 | 第13-17页 |
| ·缺口型柔性铰链 | 第13-15页 |
| ·基于柔性铰链的杠杆型柔顺机构 | 第15-17页 |
| ·本文研究内容及目的 | 第17-19页 |
| 第二章 典型柔性铰链的模块化与重组 | 第19-41页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·典型柔性铰链的模块化 | 第19-25页 |
| ·圆弧型柔性铰链 | 第22-23页 |
| ·角圆型柔性铰链 | 第23-24页 |
| ·椭圆型柔性铰链 | 第24页 |
| ·双曲线型柔性铰链 | 第24-25页 |
| ·抛物线型柔性铰链 | 第25页 |
| ·典型柔性铰链的重组 | 第25-30页 |
| ·双曲线-角圆型柔性铰链 | 第26-28页 |
| ·角圆-双曲线型柔性铰链 | 第28-30页 |
| ·柔性铰链最大应力分析 | 第30-32页 |
| ·理论公式的检验 | 第32-35页 |
| ·柔度封闭方程的检验 | 第32-34页 |
| ·最大应力公式的检验 | 第34-35页 |
| ·柔性铰链性能比较 | 第35-40页 |
| ·柔度的比较 | 第35-36页 |
| ·精度的比较 | 第36-37页 |
| ·柔度精度比率的比较 | 第37-39页 |
| ·最大应力的比较 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 基于柔性铰链的杠杆型柔顺机构的建模 | 第41-53页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·基于柔性铰链的杠杆型柔顺机构的分析 | 第41-46页 |
| ·用基于柔性铰链的单级杠杆型柔顺机构检验理论模型 | 第46-49页 |
| ·用基于柔性铰链的二级杠杆型柔顺机构微动平台检验理论模型 | 第49-52页 |
| ·基于柔性铰链的二级杠杆型柔顺机构微动平台的设计 | 第49-51页 |
| ·基于柔性铰链的二级杠杆型柔顺机构微动平台的有限元分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 基于柔顺机构的实验研究 | 第53-73页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·实验系统 | 第53-60页 |
| ·压电陶瓷控制器和压电陶瓷驱动器 | 第53-56页 |
| ·双频激光干涉仪系统 | 第56-59页 |
| ·隔振台 | 第59-60页 |
| ·影响位移测量的因素 | 第60-68页 |
| ·实验分析 | 第60-62页 |
| ·压电陶瓷驱动器损坏 | 第62页 |
| ·压电陶瓷驱动器推力不足 | 第62-63页 |
| ·压电陶瓷驱动器刚度不足 | 第63-64页 |
| ·楔块预紧机构自锁失效 | 第64-65页 |
| ·平台边框刚度不足 | 第65-66页 |
| ·固定平台基座移动 | 第66页 |
| ·新平台的设计 | 第66-68页 |
| ·一种用于柔顺机构微动平台的可控楔块预紧机构 | 第68-69页 |
| ·基于柔性铰链的二级杠杆型柔顺机构微动平台的位移测量 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-84页 |
| 附件 | 第84页 |
