圆形气浮垫结构优化、性能分析及工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| ·综述 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-13页 |
| ·国外的发展状况 | 第11-12页 |
| ·国内的发展状况 | 第12-13页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 圆形常压式弹性气浮垫的结构原理和数学模型 | 第14-28页 |
| ·气浮垫的工作原理 | 第14-16页 |
| ·弹性均压槽的加工及其工作原理 | 第16-17页 |
| ·圆形常压式弹性气浮垫的结构原理 | 第17-19页 |
| ·圆形常压式弹性气浮垫的数学模型 | 第19-23页 |
| ·基本假设 | 第19-20页 |
| ·雷诺方程式的推导 | 第20-21页 |
| ·控制方程的推导 | 第21-22页 |
| ·边界条件 | 第22-23页 |
| ·气浮垫承载力和刚度的计算 | 第23页 |
| ·弹性薄板变形的控制方程 | 第23-27页 |
| ·基本假设 | 第23-24页 |
| ·控制方程的推导 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 圆形常压式弹性气浮垫的性能仿真研究 | 第28-42页 |
| ·数值计算方法的选择 | 第28-29页 |
| ·弹性薄膜板控制方程的数值分析 | 第29-33页 |
| ·弹性薄板变形控制方程的离散化处理 | 第29-30页 |
| ·弹性薄板控制方程边界条件的处理 | 第30-32页 |
| ·弹性薄板变形控制方程的分析 | 第32-33页 |
| ·气体润滑控制方程的数值分析 | 第33-37页 |
| ·气体润滑控制方程的离散及边界条件的处理 | 第33-35页 |
| ·气体润滑控制方程的数值分析步骤 | 第35-37页 |
| ·弹性薄板变形方程和气体润滑方程的耦合 | 第37页 |
| ·计算实例(一) | 第37-39页 |
| ·仿真模型的建立 | 第37-38页 |
| ·仿真结果与分析 | 第38-39页 |
| ·计算实例(二) | 第39-41页 |
| ·计算模型的基本参数 | 第39-40页 |
| ·计算结果与分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 常压式气浮垫的加工 | 第42-54页 |
| ·研抛设备加载方式的比较 | 第42-43页 |
| ·研磨液的组成与选择 | 第43页 |
| ·研磨盘的选择与修复 | 第43-45页 |
| ·研磨抛光盘的检测 | 第45-48页 |
| ·平面度误差的测量 | 第45页 |
| ·圆(环)形布点方式 | 第45-46页 |
| ·研磨盘平面度误差的测量 | 第46-47页 |
| ·最小二乘法评定研磨盘的平面度误差 | 第47-48页 |
| ·常压式气浮垫的加工过程 | 第48-50页 |
| ·气浮垫研磨抛光的加工工艺路线 | 第49页 |
| ·气浮垫与工件盘的粘结技术 | 第49-50页 |
| ·气浮垫的清洗技术 | 第50页 |
| ·划痕产生的原因、影响及预防措施 | 第50-53页 |
| ·气浮垫研磨表面划痕产生的理论模型 | 第50-52页 |
| ·划痕的影响以及预防措施 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 常压式气浮垫的实验研究 | 第54-57页 |
| ·试验原理与试验装置 | 第54-55页 |
| ·试验台的结构和工作原理 | 第54页 |
| ·试验台的调平与标定 | 第54-55页 |
| ·试验方法与数据处理 | 第55页 |
| ·试验方法 | 第55页 |
| ·数据处理 | 第55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 6 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·本课题工作展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
