| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·SiC 的结构、性能及应用 | 第8-14页 |
| ·SiC 薄膜研究现状 | 第14-22页 |
| ·本论文的主要研究内容和目标 | 第22-23页 |
| 第二章 实验方法及其表征技术 | 第23-34页 |
| ·SiC薄膜制备方法 | 第23-28页 |
| ·SiC 薄膜VLS 选择性生长的实验过程 | 第28-30页 |
| ·SiC薄膜的表征方法 | 第30-34页 |
| 第三章 SiC 薄膜VLS 选择性生长研究 | 第34-52页 |
| ·SiC 薄膜在圆孔中的 VLS 选择性生长研究 | 第34-36页 |
| ·SiC 薄膜在矩形凹槽中的 VLS 选择性生长研究 | 第36-47页 |
| ·VLS 选择性生长 SiC 薄膜中间区域的表征分析 | 第47-52页 |
| 第四章 VLS 选择性生长与气相生长的比较研究 | 第52-59页 |
| ·SiC 薄膜的气相生长研究 | 第52-55页 |
| ·SiC 薄膜 VLS 选择性生长与气相生长的比较 | 第55-57页 |
| ·SiC 薄膜 VLS 选择性生长机理 | 第57-59页 |
| 第五章 结论 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第65-66页 |