| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·缓蚀剂概述 | 第8-10页 |
| ·缓蚀剂作用机理 | 第8页 |
| ·有机杂环缓蚀剂 | 第8-10页 |
| ·金属表面缓蚀剂自组装单分子膜 | 第10页 |
| ·量子化学计算方法简介 | 第10-12页 |
| ·从头算(ab initio)方法 | 第10-11页 |
| ·密度泛函理论(DFT)方法 | 第11页 |
| ·半经验(semi-empirical)方法 | 第11-12页 |
| ·分子动力学模拟方法简介 | 第12页 |
| ·缓蚀剂的构效相关性 | 第12-15页 |
| ·缓蚀剂分子的量子化学参数与缓蚀性能的关系 | 第13页 |
| ·分子的电荷分布与缓蚀机理 | 第13页 |
| ·缓蚀剂分子的质子化 | 第13-14页 |
| ·用量子化学方法处理“原子簇-吸附物质”体系 | 第14页 |
| ·缓蚀剂的吸、脱附与缓蚀模型 | 第14-15页 |
| ·缓蚀剂的定量构效相关(QSAR)模型的研究 | 第15页 |
| ·本课题研究缓蚀机理的方法 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-21页 |
| 2 BTA及其羧基烷基酯衍生物缓蚀性能的量子化学研究 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·计算方法 | 第21页 |
| ·计算结果与讨论 | 第21-31页 |
| ·分子构型 | 第21-22页 |
| ·缓蚀剂分子的反应活性位点 | 第22-30页 |
| ·中性介质条件 | 第22-26页 |
| ·酸性介质条件 | 第26-30页 |
| ·缓蚀效率与量化参数之间的关系 | 第30-31页 |
| ·结论 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 3 BTA及其羧基烷基酯衍生物与金属相互作用的MD研究 | 第33-50页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·模型构建与模拟方法 | 第33-35页 |
| ·模拟方法和力场 | 第33页 |
| ·模型构建 | 第33-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-46页 |
| ·体系的平衡 | 第35页 |
| ·缓蚀剂分子在金属表面的结合能 | 第35-40页 |
| ·缓蚀剂分子在Cu_2O(001)晶面上的形变 | 第40-41页 |
| ·体系的径向分布函数 | 第41-46页 |
| ·结论 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 4 异唑啉及其羟基、羧基衍生物缓蚀性能的量子化学研究 | 第50-62页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·计算方法 | 第50页 |
| ·计算结果与讨论 | 第50-59页 |
| ·分子构型 | 第50-51页 |
| ·缓蚀剂分子的反应活性位点 | 第51-54页 |
| ·缓蚀效率与量化参数之间的关系 | 第54-59页 |
| ·缓蚀效率与轨道能量之间的关系 | 第55-56页 |
| ·缓蚀效率与电荷分布之间的关系 | 第56-57页 |
| ·缓蚀效率与极化率、分配系数之间的关系 | 第57-58页 |
| ·缓蚀效率与N原子前线轨道电荷密度之间的关系 | 第58-59页 |
| ·缓蚀效率与N原子亲核、亲电Fukui指数之间的关系 | 第59页 |
| ·结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 5 吡啶及其甲基衍生物与金属Al相互作用的MD/QM研究 | 第62-75页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·分子动力学研究 | 第62-69页 |
| ·模型构建与模拟方法 | 第62-64页 |
| ·模拟力场 | 第62页 |
| ·模型构建 | 第62-64页 |
| ·结果与讨论 | 第64-69页 |
| ·体系的平衡 | 第64-65页 |
| ·吡啶及其甲基衍生物在Al_2O_3(012)晶面上的结合能 | 第65-67页 |
| ·缓蚀剂分子在Al_2O_3(012)晶面上的形变 | 第67页 |
| ·体系的径向分布函数 | 第67-69页 |
| ·量子化学研究 | 第69-72页 |
| ·计算方法 | 第69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-72页 |
| ·吡啶及其甲基衍生物分子的电荷分布与电子转移 | 第69-71页 |
| ·态密度 | 第71-72页 |
| ·结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录 A | 第76-80页 |
