三坐标测量机空间误差的高精度测量与分离技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·三坐标测量机的特点 | 第7-8页 |
| ·目前三坐标测量机的误差检测方法 | 第8-9页 |
| ·课题研究的目的和内容 | 第9-11页 |
| 2 三坐标测量机的误差及其检测方法 | 第11-23页 |
| ·三坐标测量机的误差 | 第11-15页 |
| ·力变形误差 | 第12页 |
| ·温度误差 | 第12页 |
| ·探测误差 | 第12-13页 |
| ·动态误差 | 第13页 |
| ·几何误差 | 第13-15页 |
| ·二维激光干涉和四象限光电探测器测量方法 | 第15-19页 |
| ·在XOY平面(z =z_1) 内的测量 | 第16-17页 |
| ·在XOZ平面(y =y_1) 内的测量 | 第17-18页 |
| ·在YOZ平面(x =x_1) 内的测量 | 第18-19页 |
| ·三坐标测量机的数学模型 | 第19-21页 |
| ·三坐标测量机数学模型的意义 | 第19页 |
| ·准刚体几何误差数学模型 | 第19-21页 |
| ·小结 | 第21-23页 |
| 3 测试系统设计 | 第23-34页 |
| ·整体方案设计 | 第23-24页 |
| ·整体测量方案设计 | 第23页 |
| ·软件仿真 | 第23-24页 |
| ·二维激光干涉测量系统 | 第24-28页 |
| ·激光干涉测量技术 | 第24-25页 |
| ·双频激光干涉仪工作原理 | 第25-27页 |
| ·二维激光干涉测量 | 第27-28页 |
| ·平面直角镜垂直度测量 | 第28-30页 |
| ·垂直度测量常用方法 | 第28页 |
| ·光隙法测量原理 | 第28页 |
| ·光隙测量系统构成 | 第28-29页 |
| ·实验和数据处理 | 第29-30页 |
| ·光电探测器测量直线度运动误差 | 第30-33页 |
| ·硅光电池工作原理 | 第30-31页 |
| ·四象限硅光电池测量原理 | 第31-32页 |
| ·四象限硅光电池测量直线度运动误差 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 仿真测试系统软件分析与设计 | 第34-43页 |
| ·软件分析 | 第34-35页 |
| ·软件功能 | 第34页 |
| ·软件结构 | 第34-35页 |
| ·软件设计 | 第35-42页 |
| ·主体设计 | 第35-37页 |
| ·仿真XOY平面内测试程序设计 | 第37-38页 |
| ·仿真XOZ平面内测试程序设计 | 第38-39页 |
| ·仿真YOZ平面内测试程序设计 | 第39-40页 |
| ·最小二乘法编程 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 5 软件仿真实验和测量方法的误差分析 | 第43-47页 |
| ·仿真实验 | 第43-45页 |
| ·仿真测量实验 | 第43-44页 |
| ·测量机测量空间内的误差计算 | 第44-45页 |
| ·影响测量误差的因素 | 第45页 |
| ·二维激光干涉仪引起的误差 | 第45页 |
| ·平面直角镜垂直度引起的误差 | 第45页 |
| ·四象限光电探测器测量引起的误差 | 第45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 总结与展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 附录 | 第52页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第52页 |
