| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·多路光信号同步检测技术现状 | 第9-11页 |
| ·基于单片PSD 的多路光信号同步检测技术 | 第11-13页 |
| ·用循环点亮光源的方法实现单个PSD 检测多光束的技术 | 第11-12页 |
| ·基于PSD 幅度法定位的同步检测多光束技术 | 第12-13页 |
| ·光电位置探测器的选择及PSD 的研究进展 | 第13-16页 |
| ·光电位置探测器的选择 | 第13-14页 |
| ·PSD 的研究进展 | 第14-16页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第16-18页 |
| ·问题的提出及意义 | 第16-17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-18页 |
| 2 PSD 相位法定位原理研究 | 第18-31页 |
| ·概述 | 第18页 |
| ·位置敏感探测器(PSD) | 第18-24页 |
| ·PSD 横向光电效应 | 第18-24页 |
| ·PSD 输出电流的位置信息载体——幅度和相位 | 第24页 |
| ·PSD 相位法定位原理 | 第24-28页 |
| ·PSD 输出电流响应 | 第24-27页 |
| ·负载零近似条件下的相位响应 | 第27-28页 |
| ·电极电流的相位与光斑位置关系的模拟 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 新型多光束同步检测系统 | 第31-59页 |
| ·PSD 相位法多光束同步检测系统的总体方案设计 | 第31-32页 |
| ·PSD 器件 | 第32-35页 |
| ·光谱响应特性 | 第32页 |
| ·响应度 | 第32-33页 |
| ·位置检测误差 | 第33页 |
| ·位置分辨率 | 第33页 |
| ·温度特性 | 第33-34页 |
| ·结电容与反偏电压的关系 | 第34页 |
| ·本系统所选用的PSD 性能参数 | 第34-35页 |
| ·光学部分设计 | 第35-38页 |
| ·光源的选取 | 第35-36页 |
| ·红外发光二极管的驱动电路 | 第36-38页 |
| ·光学镜头的选择 | 第38页 |
| ·信号处理电路设计 | 第38-53页 |
| ·放大电路 | 第38-43页 |
| ·滤波电路 | 第43-50页 |
| ·过零比较电路 | 第50-52页 |
| ·鉴相电路 | 第52-53页 |
| ·A/D 转换卡 | 第53-54页 |
| ·软件部分 | 第54-58页 |
| ·系统界面 | 第54页 |
| ·数据采集程序 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 PSD 相位法多光束同步检测实验研究 | 第59-68页 |
| ·实验系统集成 | 第59页 |
| ·系统定标实验 | 第59-63页 |
| ·一维PSD 实验结果 | 第61-62页 |
| ·二维PSD 实验结果 | 第62-63页 |
| ·位移检测实验 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 5 误差分析 | 第68-73页 |
| ·位移检测误差分析 | 第68-69页 |
| ·误差产生的原因 | 第69-72页 |
| ·PSD 器件引起的误差 | 第69-70页 |
| ·平行度引起的误差 | 第70-71页 |
| ·光源引起的误差 | 第71-72页 |
| ·信号传输与处理电路引起的误差 | 第72页 |
| ·A/D 转换卡引起的误差 | 第72页 |
| ·其它原因引起的误差 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 6 全文总结 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 附录1:作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第78-79页 |
| 附录2:系统硬件电路 | 第79-80页 |
| 附录3:PCB 板 | 第80-81页 |
| 附录4:系统软件程序 | 第81-83页 |
| 附录5:系统定标实验数据 | 第83-84页 |
| 独创性声明 | 第84页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第84页 |