差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·前言 | 第10-12页 |
| ·精密位移测量的意义 | 第12-13页 |
| ·机械位移测量技术及位移传感器 | 第13-15页 |
| ·位移传感器研究的国内外现状 | 第15-18页 |
| ·本研究之来源、意义和任务 | 第18-22页 |
| 2 差线栅位移传感器原理 | 第22-42页 |
| ·栅式位移传感器 | 第22-37页 |
| ·差线栅位移传感器 | 第37-41页 |
| ·测微中的放大、插值与细分 | 第38-39页 |
| ·差线栅工作原理 | 第39-41页 |
| ·特点分析 | 第41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| 3 差线栅位移传感器参数设计 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·差线栅机械参数设计准则 | 第42-47页 |
| ·定义 | 第42-43页 |
| ·推论与例证 | 第43-47页 |
| ·差线栅的数学模型与信号发生机理 | 第47-50页 |
| ·差线栅形成原理的数学模型 | 第47-49页 |
| ·差线栅电信号形成机理 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 4 差线栅位移传感器信号分析处理基础 | 第52-76页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·信号处理方法概述 | 第52-70页 |
| ·滤波 | 第52-53页 |
| ·调制与解调 | 第53-63页 |
| ·电子细分 | 第63-68页 |
| ·辨向 | 第68-70页 |
| ·三种典型信号分析方法比较 | 第70-74页 |
| ·小结 | 第74-76页 |
| 5 差线栅位移传感器结构设计 | 第76-92页 |
| ·电感式传感元件 | 第76-78页 |
| ·发电型传感元件 | 第78-80页 |
| ·四类差线栅位移传感器设计 | 第80-91页 |
| ·差线栅结构及工作原理 | 第80-87页 |
| ·差线栅材料的选取 | 第87-90页 |
| ·改善传感器性能考虑的因素 | 第90-91页 |
| ·小结 | 第91-92页 |
| 6 差线栅位移传感器实验 | 第92-118页 |
| ·差线栅机械参数计算 | 第92-94页 |
| ·差线栅实验及结果分析 | 第94-102页 |
| ·第1类差线栅原理验证实验 | 第95-100页 |
| ·第2类差线栅原理验证实验 | 第100-101页 |
| ·第4类差线栅原理验证实验 | 第101-102页 |
| ·栅式位移传感器误差分析和消减措施 | 第102-111页 |
| ·齿距累积误差测量中的异常现象分析 | 第111-115页 |
| ·差线栅精度分析 | 第115-117页 |
| ·小结 | 第117-118页 |
| 7 总结 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-128页 |
| 附录 | 第128-130页 |
