微机械加工压力传感器的研究
| 第1章 绪论 | 第1-14页 |
| ·目的、意义 | 第8-9页 |
| ·国内外概况 | 第9-12页 |
| ·本论文的任务和研究的内容组织 | 第12-14页 |
| ·课题研究应达到的指标 | 第12页 |
| ·研究内容组织 | 第12-14页 |
| 第2章 传感器的设计 | 第14-26页 |
| ·传感器概述 | 第14页 |
| ·半导体压阻效应的数学模型 | 第14-17页 |
| ·压阻效应 | 第14-16页 |
| ·压阻系数 | 第16-17页 |
| ·版图设计 | 第17-20页 |
| ·隔离膜片 | 第20-24页 |
| ·隔离膜片的设计 | 第20-22页 |
| ·油的选择 | 第22-23页 |
| ·注油腔的设计 | 第23-24页 |
| ·敏感元件的结构设计 | 第24-25页 |
| ·整体结构设计 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 工艺技术研究 | 第26-39页 |
| ·微双岛结构硅杯膜片的制作技术 | 第26-29页 |
| ·腐蚀液的选择 | 第26页 |
| ·削角补偿 | 第26-27页 |
| ·各项异性腐蚀中应注意的方面 | 第27-29页 |
| ·静电封接技术 | 第29-31页 |
| ·注油工艺 | 第31页 |
| ·温度补偿 | 第31-35页 |
| ·工艺技术 | 第32-33页 |
| ·温度补偿 | 第33-35页 |
| ·工艺流程 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 工艺环境要求及成品率统计分析 | 第39-44页 |
| ·工艺装备及环境要求 | 第39-41页 |
| ·设备选用 | 第39-41页 |
| ·环境要求 | 第41页 |
| ·影响成品率的主要因素 | 第41-42页 |
| ·影响“批”的成品率的因素 | 第41-42页 |
| ·影响“片”的成品率的因素 | 第42页 |
| ·影响“个”的成品率的因素 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第5章 测试结果与分析 | 第44-49页 |
| ·工艺考核结果 | 第44页 |
| ·性能测试结果 | 第44-46页 |
| ·例行试验结果 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第6章 技术经济效益分析 | 第49-51页 |
| ·产品水平 | 第49页 |
| ·应用情况 | 第49-50页 |
| ·社会及经济效益分析 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 个人简历 | 第56页 |
