数字调幅式电感测微仪系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第9-10页 |
| ·课题的研究现状 | 第10-13页 |
| ·纳米测量技术发展现状 | 第10-11页 |
| ·高精度电感测微仪国内外的发展现状 | 第11-13页 |
| ·高精度电感测微仪系统中存在的若干关键技术 | 第13-14页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 电感测微仪系统的总体设计 | 第15-20页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·系统总体结构 | 第16-17页 |
| ·工作原理 | 第17页 |
| ·电感测微仪测头的实现方式及各自的特点 | 第17-19页 |
| ·该总体设计方案的特点 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第3章 高精度大量程电感测头设计 | 第20-45页 |
| ·电感测头线圈结构设计 | 第20-40页 |
| ·电感测头线圈理论分析 | 第20-26页 |
| ·电感测头线圈等效电路分析 | 第26-30页 |
| ·电感测头线圈误差因素分析 | 第30-36页 |
| ·线圈的电磁仿真 | 第36-40页 |
| ·电感测头机械结构设计 | 第40-44页 |
| ·轮廓设计 | 第40-41页 |
| ·导向及回转支承选择 | 第41-42页 |
| ·热平衡分析 | 第42-43页 |
| ·机械结构的模态分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 基于数字相敏检波测量电路设计 | 第45-65页 |
| ·测量系统概述 | 第45-46页 |
| ·测量系统电路硬件设计 | 第46-61页 |
| ·测量电路系统的抗干扰设计 | 第46-50页 |
| ·DDS载波信号发生电路 | 第50-53页 |
| ·高精度模拟信号处理电路设计 | 第53-56页 |
| ·数字相敏检波电路设计 | 第56-58页 |
| ·基于USB的高速数据通讯 | 第58-61页 |
| ·系统的数字滤波及非线性补偿 | 第61-64页 |
| ·数字滤波设计 | 第62-63页 |
| ·非线性补偿 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 电感测微仪测试与分析 | 第65-72页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·电感测微仪系统测试 | 第65-70页 |
| ·稳定性实验 | 第65-67页 |
| ·灵敏度和分辨力实验 | 第67-68页 |
| ·重复性误差 | 第68-69页 |
| ·非线性误差及迟滞 | 第69-70页 |
| ·影响系统精度因素分析 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
