FAS系统中设备模拟器的研究与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究背景及问题描述 | 第7-8页 |
| ·研究目的及意义 | 第8-9页 |
| ·本文主要研究内容 | 第9-10页 |
| ·本文组织结构 | 第10-11页 |
| 第2章 FAS系统的研究 | 第11-23页 |
| ·FAS系统组织结构 | 第11-12页 |
| ·自动化控制系统各模块的功能研究 | 第12-18页 |
| ·可视化图形界面操作系统(OGUI) | 第12-14页 |
| ·制造执行系统(MES) | 第14-17页 |
| ·设备自动化平台(EAP) | 第17-18页 |
| ·自动化控制系统安全性分析 | 第18-20页 |
| ·设备仿真系统 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 LASER的功能与模拟器的设计 | 第23-43页 |
| ·LASER功能描述 | 第23-25页 |
| ·LASER模拟器的相关技术 | 第25-29页 |
| ·半导体设备通信协议SECS | 第25-27页 |
| ·多线程同步 | 第27-29页 |
| ·LASER模拟器的总体设计 | 第29-31页 |
| ·LASER模拟器功能设计与实现 | 第31-41页 |
| ·脚本控制 | 第31-33页 |
| ·通信模块 | 第33-37页 |
| ·同步功能 | 第37-41页 |
| ·日志模块 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 ACLS的功能与模拟器的设计 | 第43-63页 |
| ·ACLS功能描述 | 第43-45页 |
| ·ACLS模拟器总体设计 | 第45-48页 |
| ·ACLS模拟器功能设计与实现 | 第48-62页 |
| ·脚本控制 | 第48页 |
| ·通信模块 | 第48-53页 |
| ·同步模块 | 第53-61页 |
| ·日志模块 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 系统测试及结果分析 | 第63-69页 |
| ·测试环境搭建 | 第63页 |
| ·测试用例设计 | 第63-66页 |
| ·测试结果分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 硕士在读期间发表论文 | 第75页 |
