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Mg,Co共掺杂ZnO薄膜的PLD制备工艺及性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-9页
引言第9-12页
 参考文献第10-12页
第一章 综述第12-23页
   ·ZnO基本性质第12-16页
     ·ZnO薄膜的晶体结构第12-14页
     ·ZnO薄膜缺陷能级第14-15页
     ·ZnO薄膜的光电特性第15-16页
     ·ZnO基稀磁半导体第16页
   ·ZnMgO薄膜的研究现状第16-19页
     ·ZnMgO带隙变化的微观机理第16-17页
     ·ZnMgO薄膜研究第17-19页
   ·本论文的主要内容第19-20页
 本章参考文献第20-23页
第二章 ZnO薄膜的制备及表征方法第23-34页
   ·ZnO薄膜制备方法第23-26页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第23-25页
     ·化学气相沉积(CVD)第25页
     ·分子束外延(MBE)第25-26页
     ·磁控溅射第26页
   ·样品的分析与表征手段第26-32页
     ·X射线衍射分析(XRD)第27-28页
     ·光学特性分析第28-29页
     ·原子力显微镜(AFM)分析第29-30页
     ·扫描电镜(SEM)分析第30页
     ·傅立叶变换红外光谱仪第30-31页
     ·振动样品磁强计(VSM)第31-32页
 本章参考文献第32-34页
第三章 样品制备和实验过程第34-39页
   ·PLD-450型高真空脉冲激光沉积系统简介第34-36页
   ·实验方法第36-38页
     ·靶材的制备第36-37页
     ·靶材的表征第37页
     ·PLD技术制备Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的实验过程第37-38页
   ·样品的表征第38-39页
第四章 Zn_(1-x)Mg_xO薄膜制备工艺及对结构和性能的影响第39-54页
   ·Mg含量对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜结构特征的影响第39-41页
   ·Mg含量对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜磁性的影响第41-42页
   ·氧分压对Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜结构的影响第42-44页
   ·氧分压对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜磁性的影响第44-45页
   ·退火温度对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜磁性的影响第45-46页
   ·(Co,Mg):ZnO薄膜的磁性研究第46-48页
   ·(Co,Mg):ZnO薄膜的发光特性研究第48-49页
   ·本章小结第49-51页
 本章参考文献第51-54页
第五章 N:Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜特性研究第54-63页
   ·氮分压对Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜结构的影响第54-56页
   ·氮分压对Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜发光性能影响第56-58页
   ·氮分压对Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜磁学性能影响第58-59页
   ·N掺杂Zn_(0.925)Mg_(0.075)O薄膜拉曼光谱分析第59-60页
   ·本章小结第60-61页
 本章参考文献第61-63页
第六章 结论第63-65页
致谢第65-66页
攻读硕士期间发表论文情况第66-67页

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