| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·微结构的研究及应用背景 | 第10-13页 |
| ·摩擦学领域微结构（微凸起、微凹坑）的研究及应用 | 第10-12页 |
| ·微机械领域的微结构研究与应用 | 第12-13页 |
| ·微结构的微细特种加工技术及其最新研究状况 | 第13-18页 |
| ·微细超声加工技术 | 第13-14页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第14-16页 |
| ·微细电解加工技术 | 第16-17页 |
| ·微细超声复合电加工技术 | 第17-18页 |
| ·本论文课题研究目的及主要内容 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 微细超声复合电加工机理分析与探讨 | 第20-37页 |
| ·微细超声加工机理及特点 | 第20-23页 |
| ·微细超声加工机理概述 | 第20-21页 |
| ·微细超声加工机理浅析 | 第21-22页 |
| ·微细超声加工特点 | 第22-23页 |
| ·微细电解加工原理及特点 | 第23-26页 |
| ·微细电解加工原理概述 | 第23-24页 |
| ·脉冲电解加工技术机理概述与浅析 | 第24-25页 |
| ·微细电解加工特点 | 第25-26页 |
| ·微细电火花加工原理及特点 | 第26-30页 |
| ·微细电火花加工原理概述 | 第26-27页 |
| ·微细电火花加工原理浅析 | 第27-29页 |
| ·微细电火花加工特点 | 第29-30页 |
| ·微细超声复合电加工机理 | 第30-36页 |
| ·微细超声复合电火花加工机理分析 | 第31-34页 |
| ·微细超声复合电解加工机理分析 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微细超声复合电加工试验系统构造 | 第37-55页 |
| ·超声频振动单元 | 第37-41页 |
| ·超声波发生器 | 第38页 |
| ·超声换能器 | 第38-40页 |
| ·超声换能器的原理 | 第39-40页 |
| ·超声换能器的选择 | 第40页 |
| ·超声变幅杆 | 第40-41页 |
| ·工具头电极 | 第41页 |
| ·超声换能器与电极工具头联接部分 | 第41页 |
| ·电解加工单元 | 第41-42页 |
| ·电火花加工单元 | 第42-43页 |
| ·工作台蠕动进给运动单元 | 第43-44页 |
| ·测量、分析及控制单元 | 第44-51页 |
| ·微位移的测量和控制 | 第44-45页 |
| ·加工参数的测量分析 | 第45-46页 |
| ·电参数检测调整 | 第45页 |
| ·加工精度的测量 | 第45-46页 |
| ·加工速度的测量 | 第46页 |
| ·脉冲电加工与超声振动作用三种同步方案的研究与比较 | 第46-51页 |
| ·超声复合电加工系统完善 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 微结构加工工具电极的设计与制作 | 第55-65页 |
| ·微细电极工具头工作要求 | 第55页 |
| ·微细电极工具头设计 | 第55-58页 |
| ·微细工具电极材料选择 | 第55-56页 |
| ·微细电极工具头整体与端面设计 | 第56-58页 |
| ·微细电极工具头制作 | 第58-64页 |
| ·电极工具头总体加工 | 第59页 |
| ·电极工具头端面加工 | 第59-64页 |
| ·微细电火花线切割技术加工微凸起工具电极 | 第59-61页 |
| ·电火花“反拷复合平动”技术加工微凸起工具电极 | 第61-63页 |
| ·“内外面转换”放电加工工具头 | 第63-64页 |
| ·电极工具头的制作精度及表面质量 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 加工试验及结果分析 | 第65-85页 |
| ·试验参数选择 | 第65-67页 |
| ·试验件材料 | 第65页 |
| ·工作液 | 第65-66页 |
| ·工具电极超声振动频率及振幅 | 第66页 |
| ·进给压力 | 第66页 |
| ·试验电参数 | 第66-67页 |
| ·试验方案 | 第67页 |
| ·微细超声复合电加工对比试验 | 第67-78页 |
| ·单一微细超声加工试验 | 第68-71页 |
| ·微细槽单一超声加工试验 | 第68页 |
| ·阵列微凹坑单一超声加工试验 | 第68-70页 |
| ·微结构单一超声加工试验结果分析 | 第70-71页 |
| ·微细超声复合电火花加工试验 | 第71-73页 |
| ·微细超声复合电解加工试验 | 第73-76页 |
| ·电压对复合加工效果的影响 | 第73-76页 |
| ·电解液质量分数对复合加工效果的影响 | 第76页 |
| ·典型微结构超声复合电加工 | 第76-78页 |
| ·超声复合同步脉冲电解加工试验研究 | 第78-82页 |
| ·加工方式对比试验 | 第78-80页 |
| ·电压对超声复合同步脉冲电解的影响 | 第80-82页 |
| ·陶瓷绝缘材料超声复合电加工试验 | 第82-83页 |
| ·微结构摩擦学试验 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 结论与展望 | 第85-87页 |
| ·结论 | 第85-86页 |
| ·工作展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第92页 |