氮化铝薄膜MEMS压电超声换能器设计及应用
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 MEMS技术简介 | 第10页 |
| 1.2 MEMS超声换能器及其应用 | 第10-12页 |
| 1.3 PMUT研究现状与发展前景 | 第12-16页 |
| 1.4 研究内容及论文结构安排 | 第16-18页 |
| 2 PMUT设计与加工 | 第18-29页 |
| 2.1 压电材料选择 | 第18-20页 |
| 2.2 PMUT设计 | 第20-24页 |
| 2.2.1 结构尺寸设计 | 第20-23页 |
| 2.2.2 电极尺寸设计 | 第23-24页 |
| 2.3 PMUT加工 | 第24-26页 |
| 2.4 PMUT器件特性测量 | 第26-28页 |
| 2.4.1 机械特性 | 第26-27页 |
| 2.4.2 电学特性 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 PMUT用于超声DOPPLER测量 | 第29-36页 |
| 3.1 基于包络线的超声DOPPLER方法 | 第29-32页 |
| 3.2 包络线超声DOPPLER方法验证 | 第32-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 PMUT用于超声测距测量 | 第36-52页 |
| 4.1 PMUT测距 | 第36-41页 |
| 4.1.1 PMUT单元测距 | 第36-38页 |
| 4.1.2 PMUT阵列测距 | 第38-41页 |
| 4.2 基于相位延迟的衰减振荡抑制 | 第41-51页 |
| 4.2.1 相位延迟法 | 第42-46页 |
| 4.2.2 相位延迟理论的验证 | 第46-47页 |
| 4.2.3 抑制效果实验 | 第47-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 PMUT逻辑执行器件 | 第52-62页 |
| 5.1 MEMS逻辑运算器件简介 | 第52-53页 |
| 5.2 基于谐振模态调制的逻辑运算 | 第53-56页 |
| 5.3 PMUT逻辑执行器实现 | 第56-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 6 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 攻读硕士学位期间获得的科研成果 | 第72-73页 |
