| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第7-8页 |
| 1.2 测量光束漂移抑制技术的研究现状 | 第8-14页 |
| 1.2.1 干涉/衍射法 | 第8页 |
| 1.2.2 双光束法 | 第8-9页 |
| 1.2.3 差分补偿法 | 第9-10页 |
| 1.2.4 单模光纤法 | 第10页 |
| 1.2.5 共路光补偿法 | 第10-11页 |
| 1.2.6 反馈控制法 | 第11-13页 |
| 1.2.7 自适应补偿法 | 第13页 |
| 1.2.8 参数模型法 | 第13-14页 |
| 1.3 激光测量光束的方向偏转执行器的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 本课题的主要内容及其来源 | 第15-17页 |
| 2 激光光束漂移测量与补偿系统研究 | 第17-30页 |
| 2.1 激光束漂移产生的原因 | 第17-23页 |
| 2.1.1 激光器自身热漂移 | 第17-20页 |
| 2.1.2 空气折射率变化引起的漂移 | 第20-22页 |
| 2.1.3 大气湍流引起的漂移 | 第22-23页 |
| 2.2 激光束漂移量检测原理及其分类 | 第23-27页 |
| 2.2.1 光电检测原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 光束漂移形式 | 第24-25页 |
| 2.2.3 光束漂移分离检测方法 | 第25-27页 |
| 2.3 激光测量光束的漂移抑制系统的组成 | 第27-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 数字滤波器设计 | 第30-41页 |
| 3.1 数字滤波器设计 | 第31-37页 |
| 3.1.1 双线性变换法 | 第31-34页 |
| 3.1.2 离散时间巴特沃斯、切比雪夫和椭圆滤波器 | 第34-37页 |
| 3.2 滑动平均滤波设计 | 第37-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 基于压电陶瓷PZT的角漂抑制执行器设计 | 第41-58页 |
| 4.1 反射镜空间姿态调整的数学模型建立 | 第41-46页 |
| 4.2 PZT调整架的动态特性分析 | 第46-51页 |
| 4.2.1 PZT特性分析 | 第46-48页 |
| 4.2.2 调整架动态特性分析 | 第48-51页 |
| 4.3 PID控制系统实现及其参数整定 | 第51-57页 |
| 4.3.1 PID闭环控制算法子程序 | 第52-53页 |
| 4.3.2 基于继电反馈的PID参数整定 | 第53-57页 |
| 4.4 控制系统中的软件实现 | 第57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 漂移抑制实验搭建及实验结果与分析 | 第58-69页 |
| 5.1 PZT调整架的封装 | 第58页 |
| 5.2 总体实验光路装置 | 第58-60页 |
| 5.3 QPD的标定 | 第60-65页 |
| 5.3.1 QPD2的角度标定 | 第60-63页 |
| 5.3.2 QPD3的直线度标定 | 第63-64页 |
| 5.3.3 QPD1的角度标定 | 第64-65页 |
| 5.4 角漂抑制实验结果及分析 | 第65-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |