| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 非制冷红外探测器研究现状 | 第7-9页 |
| 1.3 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.4 论文章节安排 | 第10-12页 |
| 2 氧化钒微测辐射热计读出电路设计与仿真 | 第12-37页 |
| 2.1 氧化钒微测辐射热计读出电路整体结构设计 | 第12-13页 |
| 2.2 氧化钒微测辐射热计模拟读出电路设计与仿真 | 第13-29页 |
| 2.2.1 CTIA中的运算放大器的设计与仿真 | 第14-17页 |
| 2.2.2 基准电压源的设计与仿真 | 第17-20页 |
| 2.2.3 缓冲输出单元的设计与仿真 | 第20-23页 |
| 2.2.4 DAC的设计与仿真 | 第23-27页 |
| 2.2.5 氧化钒微测辐射热计模拟电路整体仿真 | 第27-29页 |
| 2.3 氧化钒微测辐射热计数字时序电路的设计与仿真 | 第29-35页 |
| 2.3.1 列控制器、行控制器的设计 | 第30-32页 |
| 2.3.2 积分复位控制器、采样保持控制器的设计 | 第32-34页 |
| 2.3.3 读出电路数字部分仿真 | 第34-35页 |
| 2.4 面阵电路仿真 | 第35-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 3 铝微测辐射热计及其读出电路的设计与仿真 | 第37-54页 |
| 3.1 微测辐射热计基本性能分析 | 第37-40页 |
| 3.1.1 微测辐射热计的热学特性 | 第37-39页 |
| 3.1.2 微测辐射热计的力学特性 | 第39页 |
| 3.1.3 微测辐射热计的光电特性 | 第39-40页 |
| 3.2 微测辐射热计的设计与仿真 | 第40-44页 |
| 3.2.1 铝微测辐射热计热学性能仿真 | 第40-43页 |
| 3.2.2 铝微测辐射热计力学性能仿真 | 第43-44页 |
| 3.2.3 铝微测辐射热计版图设计 | 第44页 |
| 3.3 铝微测辐射热计读出电路设计 | 第44-53页 |
| 3.3.1 铝微测辐射热计读出电路整体结构设计 | 第45页 |
| 3.3.2 铝微测辐射热计模拟读出电路的设计与仿真 | 第45-49页 |
| 3.3.3 铝微测辐射热计数字读出电路的设计与仿真 | 第49-52页 |
| 3.3.4 面阵电路仿真 | 第52-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 版图设计及流片加工 | 第54-62页 |
| 4.1 版图设计流程 | 第54-55页 |
| 4.2 各个模块与整体版图实现 | 第55-59页 |
| 4.2.1 氧化钒微测辐射热计读出电路版图设计 | 第55-57页 |
| 4.2.2 铝微测辐射热计及其读出电路版图设计 | 第57-59页 |
| 4.3 铝微测辐射热计阵列的加工 | 第59-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 芯片测试 | 第62-76页 |
| 5.1 氧化钒微测辐射热计读出电路测试 | 第62-65页 |
| 5.1.1 电路说明及测试 | 第62-63页 |
| 5.1.2 测试结果分析 | 第63-64页 |
| 5.1.3 氧化钒微测辐射热计发展制约因素 | 第64-65页 |
| 5.2 铝微测辐射热计读出电路测试 | 第65-67页 |
| 5.2.1 电路说明及测试 | 第65-66页 |
| 5.2.2 测试结果分析 | 第66-67页 |
| 5.3 铝微测辐射热计性能参数测试 | 第67-75页 |
| 5.3.1 热学性能测试 | 第67-69页 |
| 5.3.2 光电特性测试 | 第69-72页 |
| 5.3.3 测试结果分析 | 第72页 |
| 5.3.4 铝微测辐射热计优化及发展分析 | 第72-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
