| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 气体传感器 | 第11-14页 |
| 1.2.1 气体传感器的种类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 气体传感器的性能 | 第12页 |
| 1.2.3 气体传感器的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 常见的半导体金属氧化物气体传感器 | 第14-15页 |
| 1.4 影响半导体金属氧化物气体传感器性能的因素 | 第15-17页 |
| 1.4.1 对气体传感器灵敏度的影响因素 | 第15-16页 |
| 1.4.2 对气体传感器选择性的影响因素 | 第16-17页 |
| 1.4.3 对气体传感器稳定性的影响因素 | 第17页 |
| 1.5 选题意义及研究内容 | 第17-20页 |
| 1.5.1 选题意义 | 第17-18页 |
| 1.5.2 研究目标 | 第18页 |
| 1.5.3 研究内容及技术路线 | 第18-20页 |
| 第2章 介孔SnO_2修饰气体传感器 | 第20-58页 |
| 2.1 实验仪器及设备 | 第20-21页 |
| 2.2 介孔SnO_2粉末制备 | 第21-22页 |
| 2.3 SnO_2粉末测试与分析 | 第22-26页 |
| 2.3.1 X射线衍射分析 | 第22-24页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜分析 | 第24页 |
| 2.3.3 场发射透射电子显微镜分析 | 第24-25页 |
| 2.3.4 比表面积及孔径分布分析 | 第25-26页 |
| 2.4 丝网印刷法制备SnO_2气体传感器 | 第26-43页 |
| 2.4.1 丝网印刷法 | 第26页 |
| 2.4.2 c-SnO_2粉末制备气体传感器 | 第26-27页 |
| 2.4.3 c-SnO_2气体传感器表面修饰 | 第27-28页 |
| 2.4.4 气体传感器形貌表征与分析 | 第28-31页 |
| 2.4.5 气体传感器气敏性能测试 | 第31-34页 |
| 2.4.6 气体传感器性能分析 | 第34-43页 |
| 2.5 转印法制备SnO_2气体传感器 | 第43-54页 |
| 2.5.1 转印法 | 第43页 |
| 2.5.2 c-SnO_2气体传感器表面修饰 | 第43-44页 |
| 2.5.3 气体传感器形貌表征与分析 | 第44-46页 |
| 2.5.4 气体传感器性能分析 | 第46-54页 |
| 2.6 气敏机理分析 | 第54-56页 |
| 2.7 本章小结 | 第56-58页 |
| 第3章 介孔SiO_2修饰气体传感器 | 第58-68页 |
| 3.1 m-SiO_2粉末制备 | 第58-59页 |
| 3.2 m-SiO_2粉末测试与分析 | 第59-60页 |
| 3.3 m-SiO_2修饰气体传感器制备 | 第60-61页 |
| 3.4 m-SiO_2修饰气体传感器形貌表征与分析 | 第61-62页 |
| 3.5 m-SiO_2修饰气体传感器性能分析 | 第62-67页 |
| 3.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 4.1 结论 | 第68-69页 |
| 4.2 展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读学位期间获得的科研成果 | 第75页 |