三维微结构的激光热塑成型系统研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目次 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第10-11页 |
| ·三维微结构制备技术的研究和发展 | 第11-16页 |
| ·三维微结构制备技术的历史与现状 | 第11-14页 |
| ·三维微结构制备技术的发展趋势 | 第14-16页 |
| ·本文的主要内容及研究成果 | 第16-18页 |
| 第二章 激光微加工技术 | 第18-25页 |
| ·激光微加工技术 | 第18-20页 |
| ·激光加工技术简介 | 第18-19页 |
| ·激光微加工技术的现状与发展 | 第19-20页 |
| ·激光微加工技术的优点 | 第20页 |
| ·激光微加工方法及其应用 | 第20-22页 |
| ·激光刻蚀 | 第20-21页 |
| ·激光LIGA | 第21页 |
| ·激光化学加工 | 第21-22页 |
| ·基于激光热塑成型的三维微结构制备方法 | 第22-25页 |
| 第三章 三维微结构的激光热望成型系统研制 | 第25-46页 |
| ·系统总体设计 | 第25-26页 |
| ·系统的硬件部分 | 第26-33页 |
| ·激光光路模块 | 第26-28页 |
| ·二维电控平移模块 | 第28-30页 |
| ·控制信号输出模块 | 第30-32页 |
| ·图像采集与监控模块 | 第32-33页 |
| ·系统的软件部分 | 第33-46页 |
| ·软件的总体介绍 | 第33-36页 |
| ·微结构制备软件算法与语言背景 | 第36页 |
| ·微结构制备与监控模块 | 第36-43页 |
| ·微结构图像显示和图像处理模块 | 第43-46页 |
| 第四章 三维微结构制备系统性能分析及优化 | 第46-51页 |
| ·制备系统控制机对性能影响研究 | 第46-49页 |
| ·进程的微观串行性影响 | 第46-47页 |
| ·步进脉冲周期对微结构制备的影响 | 第47-49页 |
| ·二维平移台对微结构制备的影响研究 | 第49-50页 |
| ·激光器对微结构制备的影响 | 第50页 |
| ·其他对系统性能的影响因素 | 第50-51页 |
| 第五章 三维微结构的激光热塑成型实验研究 | 第51-64页 |
| ·点、线及多边形微结构制备 | 第51-58页 |
| ·点及点阵微结构 | 第51-53页 |
| ·线型微结构 | 第53-56页 |
| ·多边形微结构 | 第56-58页 |
| ·弧形微结构制备实验 | 第58-60页 |
| ·圆弧微结构制备 | 第58-59页 |
| ·圆微结构制备 | 第59-60页 |
| ·复杂微结构制备研究 | 第60-64页 |
| ·用石蜡材料制备复杂微结构 | 第60-61页 |
| ·用其他热塑材料制备复杂微结构 | 第61-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·研究工作总结 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 作者简历 | 第69页 |
