| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目次 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| ·表面疵病的定义及其危害 | 第11-14页 |
| ·表面疵病的定义 | 第11-12页 |
| ·表面疵病的危害 | 第12-14页 |
| ·表面疵病检测方法的研究现状及发展方向分析 | 第14-16页 |
| ·表面疵病检测方法的研究现状及分析 | 第14-15页 |
| ·对表面疵病检测发展方向的分析和探讨 | 第15-16页 |
| ·大口径精密光学元件表面疵病检测系统解决方案的提出及实现情况 | 第16-18页 |
| ·解决方案的提出 | 第16-17页 |
| ·解决方案的实施情况 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 大口径精密光学元件表面疵病数字化检测原型系统分析 | 第20-30页 |
| ·系统检测原理 | 第20-24页 |
| ·系统的整体结构及各组件分析 | 第24-30页 |
| ·系统的整体结构及检测流程 | 第24-25页 |
| ·照明光学系统 | 第25-26页 |
| ·显微成像系统 | 第26-27页 |
| ·精密移导系统 | 第27-28页 |
| ·软件图像处理分析系统 | 第28-30页 |
| 3 针对结构紧凑性和高均匀度的照明光学系统改进 | 第30-48页 |
| ·LED光源概述与性能分析 | 第30-33页 |
| ·LED的发光原理 | 第30-31页 |
| ·LED的性能特点分析 | 第31-32页 |
| ·LED在大口径精密光学元件表面疵病检测系统的适用性分析 | 第32-33页 |
| ·基于LED和柯拉照明的照明光学系统改进 | 第33-37页 |
| ·柯拉照明原理 | 第33-34页 |
| ·基本设计方法及仿真 | 第34-37页 |
| ·基于LED和复眼透镜的照明光学系统改进 | 第37-48页 |
| ·复眼透镜改善照明均匀性的原理 | 第37-40页 |
| ·基本设计方法 | 第40-44页 |
| ·ZEMAX仿真 | 第44-48页 |
| 4 基于特征分类的多层次图像拼接改进算法 | 第48-64页 |
| ·图像拼接技术概述 | 第48-50页 |
| ·原“边缘拓展法”性能分析 | 第50-53页 |
| ·“边缘拓展法”的整体流程 | 第50-51页 |
| ·重叠区域内无特征时引入的导轨定位误差 | 第51-52页 |
| ·重叠区域内仅存在贯穿直线型特征时造成的误匹配 | 第52-53页 |
| ·基于特征分类的多层次图像拼接算法 | 第53-64页 |
| ·算法的提出与整体流程概述 | 第53-54页 |
| ·子孔径图像重叠区域内特征的分类与统计 | 第54-56页 |
| ·以除贯穿直线型特征外的其他特征为模板的第一轮拼接 | 第56页 |
| ·以贯穿直线型特征为模板的四幅2×2图像互定位的第二轮拼接 | 第56-58页 |
| ·以分布零散的贯穿直线型特征为模板的第三轮拼接 | 第58-59页 |
| ·在重叠区域内无特征情况下的第四轮拼接 | 第59页 |
| ·图像拼接算法性能测试 | 第59-64页 |
| 5 疵病检测系统图像数据存储方案 | 第64-75页 |
| ·图像数据存储概述 | 第64-66页 |
| ·灰度图像的存储 | 第66-70页 |
| ·常用图像压缩算法概述 | 第66-67页 |
| ·图像压缩标准 | 第67-68页 |
| ·JPEG2000在疵病检测系统的灰度图像存储中的应用 | 第68-70页 |
| ·二值图像的存储 | 第70-75页 |
| ·疵病检测系统二值图像的存储方案选择 | 第70-72页 |
| ·基于线段编码的二值图像结构化存储的实现方法 | 第72-73页 |
| ·二值图像结构化存储的应用 | 第73-75页 |
| 6 针对测量范围进一步大口径化改进的疵病检测原型系统实验及分析 | 第75-85页 |
| ·用于维持实验环境洁净度的超净工作台 | 第75-76页 |
| ·基于LED和柯拉照明的改进照明光学系统的制作 | 第76-78页 |
| ·基于特征分类的多层次图像拼接算法对于大数量图像的拼接实验 | 第78-80页 |
| ·大数量子孔径图像拼接的全景灰度图像和二值图像的存储 | 第80-85页 |
| ·8×10全景灰度图像的压缩存储 | 第80-81页 |
| ·8×10二值图像的结构化存储 | 第81-82页 |
| ·JPEG2000压缩标准的压缩程度对疵病评价的影响 | 第82-85页 |
| 7 总结及展望 | 第85-88页 |
| ·论文工作总结 | 第85-86页 |
| ·未来工作展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 作者简历 | 第92页 |
