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MEMS压力传感器的结构分析和温漂补偿系统设计研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
ABSTRACT第9-10页
第一章 绪论第16-25页
    1.1 课题背景第16-18页
    1.2 国内外研究现状第18-22页
        1.2.1 波纹板静态结构分析的发展现状第18-19页
        1.2.2 波纹板动态振动分析的发展现状第19页
        1.2.3 压力传感器温度补偿的发展现状第19-22页
    1.3 课题来源和目的以及研究意义第22页
        1.3.1 课题来源第22页
        1.3.2 研究目的与意义第22页
    1.4 课题研究的主要内容第22-25页
第二章 波纹膜片的静态力学性能第25-40页
    2.1 引言第25页
    2.2 有限元分析理论基础第25页
    2.3 波纹膜片静态力学性能的理论解析解第25-28页
        2.3.1 波纹膜片在均布载荷作用下中心处的―挠度—载荷‖解析解第26-27页
        2.3.2 波纹膜片在中心集中力作用下中心处的―挠度—载荷‖解析解第27-28页
    2.4 波纹膜片静态力学性能的有限元数值解第28-31页
        2.4.1 定义单元类型和材料属性第28-29页
        2.4.2 建立几何模型第29页
        2.4.3 划分网格第29-30页
        2.4.4 施加载荷和约束条件第30-31页
        2.4.5 求解第31页
        2.4.6 后处理查看结果第31页
    2.5 有限元数值解和理论解析解的误差比较第31-33页
    2.6 波纹形状对膜片性能的影响第33-35页
    2.7 膜片参数对膜片性能的影响第35-37页
        2.7.1 膜片厚度对膜片性能的影响第35-36页
        2.7.2 波纹高度对膜片性能的影响第36页
        2.7.3 波纹数目对膜片性能的影响第36-37页
    2.8 变幅值波纹膜片的静态力学性能第37-38页
    2.9 本章小结第38-40页
第三章 波纹膜片的动态力学性能第40-56页
    3.1 引言第40页
    3.2 平膜片模态分析的理论解析解第40-43页
    3.3 平膜片模态分析的有限元数值解第43-45页
        3.3.1 平膜片无预应力时的模态分析第43-44页
        3.3.2 平膜片有预应力时的模态分析第44-45页
    3.4 平膜片模态分析的有限元数值解与理论解析解对比第45-46页
    3.5 波纹膜片无预应力时的模态分析第46-48页
        3.5.1 膜片厚度对膜片固有频率的影响第46-47页
        3.5.2 波纹高度对膜片固有频率的影响第47-48页
        3.5.3 波纹数目对膜片固有频率的影响第48页
    3.6 波纹膜片有预应力时的模态分析第48-54页
        3.6.1 膜片厚度和压力对膜片固有频率的影响第49-50页
        3.6.2 波纹高度和压力对膜片固有频率的影响第50-51页
        3.6.3 波纹数目和压力对膜片固有频率的影响第51-54页
    3.7 变幅值波纹膜片的模态分析第54页
    3.8 本章小结第54-56页
第四章 硅油压力传感器的工作原理与温度补偿第56-67页
    4.1 引言第56页
    4.2 压阻效应第56-57页
    4.3 硅油压力传感器的工作原理第57页
    4.4 压力传感器的温度漂移第57-58页
    4.5 实验第58-60页
        4.5.1 实验步骤第59页
        4.5.2 实验结果第59-60页
    4.6 软件补偿算法第60-66页
        4.6.1 分段线性插值法第60-62页
        4.6.2 二维回归分析法第62-64页
        4.6.3 多项式拟合与牛顿插值法第64-66页
    4.7 本章小结第66-67页
第五章 结论与展望第67-69页
    5.1 工作总结第67-68页
    5.2 工作展望第68-69页
参考文献第69-74页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第74-75页

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