液体圆盘微腔结构的高灵敏度折射率传感器研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 研究现状 | 第10-17页 |
| 1.2.1 基于折射率检测的光学传感器 | 第10-16页 |
| 1.2.2 液体圆盘微腔 | 第16-17页 |
| 1.3 本文研究目标和主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 传感器理论基础 | 第18-29页 |
| 2.1 矩形光波导 | 第18-22页 |
| 2.1.1 有效折射率法 | 第18-19页 |
| 2.1.2 单模波导的设计 | 第19-22页 |
| 2.2 回音壁模式微盘谐振腔理论 | 第22-27页 |
| 2.2.1 谐振条件 | 第22页 |
| 2.2.2 回音壁微盘谐振光学模式分析 | 第22-24页 |
| 2.2.3 谐振腔的主要性能参数 | 第24-25页 |
| 2.2.4 直波导和微盘谐振腔耦合模型 | 第25-27页 |
| 2.3 多模干涉耦合器 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 器件仿真与设计 | 第29-46页 |
| 3.1 传感器结构 | 第29-30页 |
| 3.2 工作原理 | 第30-33页 |
| 3.2.1 级联游标效应 | 第31-33页 |
| 3.2.2 传感器性能参数 | 第33页 |
| 3.3 弯曲损耗的计算 | 第33-36页 |
| 3.4 传感器的仿真设计 | 第36-45页 |
| 3.4.1 液体圆盘微腔的参数设计 | 第38-41页 |
| 3.4.2 参考微盘的参数设计 | 第41-43页 |
| 3.4.3 耦合器的参数设计 | 第43-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 器件制作与测试 | 第46-68页 |
| 4.1 制作工艺流程 | 第46-47页 |
| 4.2 掩模版设计 | 第47-48页 |
| 4.3 传感器的制作 | 第48-55页 |
| 4.3.1 芯层波导的制作 | 第48-50页 |
| 4.3.2 液体圆盘微腔图案的转移 | 第50-52页 |
| 4.3.3 液体圆盘微腔的刻蚀 | 第52-55页 |
| 4.4 器件测试 | 第55-67页 |
| 4.4.1 传感器光学性能测试 | 第55-61页 |
| 4.4.2 传感器灵敏度测试 | 第61-65页 |
| 4.4.3 传感器温度特性测试 | 第65-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 总结 | 第68页 |
| 5.2 不足与展望 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 硕士研究生期间取得的成果 | 第75页 |
