| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第18-42页 |
| 1.1. 引言 | 第18-19页 |
| 1.2. 基于SOI的集成光学的发展现状 | 第19-25页 |
| 1.2.1. 硅基激光器 | 第20-22页 |
| 1.2.2. 硅基高速光调制器 | 第22页 |
| 1.2.3. 硅基光探测器 | 第22-23页 |
| 1.2.4. 无源光器件 | 第23-24页 |
| 1.2.5. 基于硅光器件的集成系统 | 第24-25页 |
| 1.3. 集成硅基光波导中滤波器的概述 | 第25-28页 |
| 1.3.1. 马赫泽德干涉型滤波器 | 第25-26页 |
| 1.3.2. 微环滤波器 | 第26-27页 |
| 1.3.3. 布拉格光栅滤波器 | 第27-28页 |
| 1.4. 硅基布拉格光栅滤波器的研究现状 | 第28-31页 |
| 1.5. 本文的创新点与主要工作 | 第31-33页 |
| 参考文献 | 第33-42页 |
| 第2章 硅基波导光栅滤波器的理论分析、制作工艺和测试 | 第42-64页 |
| 2.1. 引言 | 第42页 |
| 2.2. 基于SOI的平面光波导结构概述 | 第42-44页 |
| 2.3. 布拉格光栅滤波器的分析方法 | 第44-53页 |
| 2.3.1. 工艺流程 | 第44-45页 |
| 2.3.2. 布拉格波导光栅滤波器结构 | 第45-47页 |
| 2.3.3. 耦合模理论 | 第47-52页 |
| 2.3.4. 光栅计算中的传输矩阵法 | 第52-53页 |
| 2.3.5. 光栅的数值分析方法 | 第53页 |
| 2.4. 布拉格波导光栅滤波器的制作 | 第53-55页 |
| 2.4.1. 电子束光刻 | 第54页 |
| 2.4.2. 干法刻蚀 | 第54页 |
| 2.4.3. 氧化硅的生长技术 | 第54-55页 |
| 2.5. 布拉格光栅滤波器的测试方法 | 第55-59页 |
| 2.5.1. 端面耦合 | 第55-56页 |
| 2.5.2. 光栅耦合 | 第56-59页 |
| 2.6. 总结 | 第59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 第3章 低插损的上下路型光栅滤波器 | 第64-90页 |
| 3.1. 引言 | 第64页 |
| 3.2. 几种基于光栅的上下路型滤波器的实现方案 | 第64-67页 |
| 3.3. 低插损的上下路型光栅滤波器 | 第67-85页 |
| 3.3.1. 多模波导光栅的耦合模理论分析 | 第67-69页 |
| 3.3.2. 非对称多模波导光栅的设计 | 第69-71页 |
| 3.3.3. 非对称渐变定向耦合器的理论设计和测试 | 第71-76页 |
| 3.3.4. 低插损的带通带阻型光栅滤波器的理论设计和测试 | 第76-80页 |
| 3.3.5. 基于多模波导的相移布拉格光栅滤波器 | 第80-83页 |
| 3.3.6. 低插损的上下路型光栅滤波器 | 第83-85页 |
| 3.4. 小结 | 第85页 |
| 参考文献 | 第85-90页 |
| 第4章 轴向切趾的非对称多模波导光栅滤波器 | 第90-110页 |
| 4.1. 引言 | 第90页 |
| 4.2. 切趾型波导光栅滤波器 | 第90-95页 |
| 4.3. 轴向切趾的非对称多模波导光栅滤波器 | 第95-105页 |
| 4.3.1. 轴向切趾的非对称多模波导光栅的理论分析 | 第95-102页 |
| 4.3.2. 实验制作和测试 | 第102-105页 |
| 4.4. 小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-110页 |
| 第5章 超大范围可调的带宽可调滤波器 | 第110-130页 |
| 5.1. 引言 | 第110-112页 |
| 5.2. 带宽可调滤波器 | 第112-118页 |
| 5.2.1. 基于空间几何光学的带宽可调滤波器 | 第112-114页 |
| 5.2.2. 基于平面光波导器件的带宽可调滤波器 | 第114-118页 |
| 5.3. 基于级联非对称多模波导光栅的带宽可调滤波器 | 第118-125页 |
| 5.3.1. 基于级联非对称多模波导光栅的带宽可调滤波器的设计 | 第118-121页 |
| 5.3.2. 基于级联非对称多模波导光栅的带宽可调滤波器的制作和测试 | 第121-125页 |
| 5.4. 小结 | 第125页 |
| 参考文献 | 第125-130页 |
| 第6章 总结与展望 | 第130-134页 |
| 6.1. 总结 | 第130-131页 |
| 6.2. 工作存在的不足与展望 | 第131-133页 |
| 参考文献 | 第133-134页 |
| 作者简历及攻读博士学位期间的研究成果 | 第134-136页 |
| 作者简历 | 第134页 |
| 攻读博士学位期间的主要科研成果 | 第134-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
