PZT驱动HGA微位移测量系统的设计与研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第8-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.1.2 研究的目的和意义 | 第8-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 微位移测量系统的总体设计 | 第15-33页 |
| 2.1 引言 | 第15-19页 |
| 2.1.1 硬盘的组成结构 | 第15-16页 |
| 2.1.2 硬盘的工作原理 | 第16-18页 |
| 2.1.3 系统设计的技术要求及总体方案选择 | 第18-19页 |
| 2.2 硬盘模拟系统设计 | 第19-25页 |
| 2.2.1 硬盘高速旋转模块 | 第20-22页 |
| 2.2.2 XYZ 运动平台 | 第22-23页 |
| 2.2.3 高度测量模块 | 第23-25页 |
| 2.3 微位移的测量 | 第25-32页 |
| 2.3.1 微位移测量方案的确定 | 第26-27页 |
| 2.3.2 LDV 对准模块 | 第27-31页 |
| 2.3.3 数据采集模块 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 系统控制算法的实现 | 第33-44页 |
| 3.1 引言 | 第33-38页 |
| 3.1.1 图像采集系统 | 第33-37页 |
| 3.1.2 图像处理技术 | 第37-38页 |
| 3.2 高度测量的实现 | 第38-41页 |
| 3.3 LDV 对准的实现 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 微位移的测量与分析 | 第44-58页 |
| 4.1 引言 | 第44-45页 |
| 4.2 PZT 驱动 HGA 微系统 | 第45-48页 |
| 4.2.1 PZT 驱动 HGA 微系统简介 | 第45-46页 |
| 4.2.2 PZT 驱动 HGA 微系统的模型 | 第46-48页 |
| 4.3 微位移测量的实现 | 第48-57页 |
| 4.3.1 振动采样信号的描述 | 第48-50页 |
| 4.3.2 振动信号的处理 | 第50-56页 |
| 4.3.3 微位移测量结果分析 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 系统的试验和分析 | 第58-63页 |
| 5.1 影响微位移测试的因素 | 第58-59页 |
| 5.2 样机试验 | 第59-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
