| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 压力传感器的背景介绍 | 第9-10页 |
| 1.2 压力传感器的基本分类 | 第10-16页 |
| 1.2.1 压电式压力传感器 | 第10-11页 |
| 1.2.2 谐振式压力传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.3 电感式压力传感器 | 第12页 |
| 1.2.4 光纤式压力传感器 | 第12-13页 |
| 1.2.5 压阻式压力传感器 | 第13-14页 |
| 1.2.6 电容式压力传感器 | 第14-16页 |
| 1.3 压阻式压力传感器国内外研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 绝压压阻式压力传感器 | 第16页 |
| 1.3.2 差压压阻式压力传感器 | 第16-17页 |
| 1.3.3 SOI压阻式压力传感器 | 第17页 |
| 1.3.4 石墨烯压阻式压力传感器 | 第17-18页 |
| 1.3.5 硅纳米线压阻式压力传感器 | 第18-19页 |
| 1.4 压力传感器的性能参数 | 第19-21页 |
| 1.5 本论文工作内容及目标 | 第21-23页 |
| 第二章 压阻式压力传感器的理论与仿真分析 | 第23-37页 |
| 2.1 压阻效应 | 第23-24页 |
| 2.2 压阻式压力传感器的工作原理 | 第24-25页 |
| 2.3 传感器结构的理论模型分析 | 第25-31页 |
| 2.3.1 传感器结构分析 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜的挠度和应力分析 | 第26-31页 |
| 2.4 压阻式压力传感器的结构设计与仿真 | 第31-35页 |
| 2.4.1 压阻式压力传感器的结构设计 | 第31-32页 |
| 2.4.1.1 压力传感器整体结构设计 | 第31-32页 |
| 2.4.1.2 压力传感器压阻条尺寸设计 | 第32页 |
| 2.4.2 压阻式压力传感器的结构仿真 | 第32-35页 |
| 2.4.2.1 弹性膜应力仿真 | 第32-34页 |
| 2.4.2.2 弹性膜挠度仿真 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 压阻式压力传感器的工艺设计 | 第37-49页 |
| 3.1 压阻式压力传感器的工艺流程设计 | 第37-39页 |
| 3.2 压阻式压力传感器的版图设计 | 第39-41页 |
| 3.2.1 离子注入重掺杂区的版图设计 | 第39页 |
| 3.2.2 离子注入压阻条的版图设计 | 第39-40页 |
| 3.2.3 通孔的版图设计 | 第40页 |
| 3.2.4 金属Al与PAD版图设计 | 第40-41页 |
| 3.2.5 背面刻蚀空腔版图设计 | 第41页 |
| 3.3 关键工艺讨论 | 第41-47页 |
| 3.3.1 光刻(Lithography) | 第41-42页 |
| 3.3.2 离子注入(Ion Implantation) | 第42-44页 |
| 3.3.3 化学气相淀积(CVD,Chemical Vapor Deposition) | 第44-45页 |
| 3.3.4 金属的蒸发和溅射(sputtering) | 第45页 |
| 3.3.5 湿法腐蚀与DRIE (Deep Reactive Ion Etching,深反应离子刻蚀) | 第45-47页 |
| 3.3.6 阳极键合(bonding) | 第47页 |
| 3.4 压力传感器及其检测结构样品 | 第47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 压阻式压力传感器的封装与测试 | 第49-59页 |
| 4.1 压阻条电阻一致性测试 | 第49-50页 |
| 4.2 压力传感器的封装 | 第50-51页 |
| 4.3 压力传感器的测试环境 | 第51-52页 |
| 4.4 压力传感器测试结果和分析 | 第52-57页 |
| 4.4.1 压力传感器的理论电压输出值 | 第52-53页 |
| 4.4.2 压力传感器测试结果 | 第53-57页 |
| 4.4.2.1 灵敏度与非线性度 | 第53-54页 |
| 4.4.2.2 一致性 | 第54页 |
| 4.4.2.3 重复性 | 第54-55页 |
| 4.4.2.4 回滞特性 | 第55页 |
| 4.4.2.5 温度特性 | 第55-56页 |
| 4.4.2.6 气压值测量误差 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 工作总结 | 第59页 |
| 5.2 工作展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
