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热退火过程对锑化物合金质量及发光特性影响的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-24页
    1.1 引言第8-9页
    1.2 锑化物半导体材料研究进展第9-17页
        1.2.1 锑化物半导体材料的物理特性第9-10页
        1.2.2 锑化物材料应用的研究现状第10-17页
    1.3 退火对锑化物合金结构及发光的影响第17-22页
        1.3.1 退火对材料结构的影响第17-19页
        1.3.2 退火对材料发光特性的影响第19-22页
    1.4 论文主要研究内容第22-24页
第二章 实验方法和测试手段第24-35页
    2.1 实验方法第24-28页
        2.1.1 分子束外延技术(MBE)及其生长机理第24-26页
        2.1.2 热退火处理(Thermal Annealing)第26-28页
    2.2 材料分析测试方法第28-33页
        2.2.1 结构特性分析(X-Ray Diffraction,XRD)第28-29页
        2.2.2 光学性能测试(Photoluminescence,PL)第29-30页
        2.2.3 光致发光的原理第30-33页
        2.2.4 局域态发光第33页
    2.3 本章小结第33-35页
第三章 不同条件的慢速退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金发光特性影响第35-43页
    3.1 引言第35页
    3.2 原生GaAs_(1-x)Sb_x合金的发光特性研究第35-37页
        3.2.1 样品制备及实验过程第35-36页
        3.2.2 原生GaAs_(1-x)Sb_x合金的发光性质第36-37页
    3.3 慢速退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金质量和发光的影响第37-42页
        3.3.1 慢速退火对晶体质量的影响第37-38页
        3.3.2 慢速退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金发光的影响第38-42页
    3.4 小结第42-43页
第四章 快速退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金质量及发光特性的影响第43-53页
    4.1 引言第43页
    4.2 快速热退火时间对GaAs_(1-x)Sb_x合金质量和发光的影响第43-50页
        4.2.1 快速热退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金质量的影响第43-44页
        4.2.2 快速热退火对GaAs_(1-x)Sb_x合金发光特性的分析第44-50页
    4.3 快速热退火和慢速退火对合金性质影响的对比第50-52页
        4.3.1 退火后对GaAs_(1-x)Sb_x合金质量的分析第50页
        4.3.2 退火后对GaAs_(1-x)Sb_x合金发光特性的分析第50-52页
    4.4 小结第52-53页
结论第53-54页
致谢第54-55页
参考文献第55-61页
硕士期间论文发表情况第61页

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