| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13页 |
| 1.3 课题来源与主要研究内容 | 第13-15页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.3.2 研究的主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 电化学振动传感器的结构及工作原理 | 第15-19页 |
| 2.1 电化学振动传感器的结构 | 第15-16页 |
| 2.1.1 传感器主要结构 | 第15-16页 |
| 2.1.2 传感器反应腔结构 | 第16页 |
| 2.2 电化学振动传感器的工作原理 | 第16-18页 |
| 2.3 本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 电化学振动传感器数学及仿真模型的建立 | 第19-30页 |
| 3.1 有限元分析方法 | 第19页 |
| 3.2 COMSOL Multiphysics简介 | 第19-20页 |
| 3.3 电化学振动传感器反应腔数学及仿真模型建立 | 第20-28页 |
| 3.3.1 电化学场的数学及仿真模型建立 | 第20-22页 |
| 3.3.2 流体场的数学及仿真模型建立 | 第22-24页 |
| 3.3.3 温度场的数学模型建立 | 第24-25页 |
| 3.3.4 噪声仿真模型建立 | 第25-28页 |
| 3.4 电化学振动传感器传递函数 | 第28-29页 |
| 3.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第4章 电化学振动传感器仿真结果分析 | 第30-50页 |
| 4.1 电极排列方式及温度对热噪声的影响 | 第31-33页 |
| 4.2 电极结构参数对热噪声的影响 | 第33-39页 |
| 4.2.1 两组电极间距与阴阳极绝缘层厚度对热噪声的影响 | 第34-35页 |
| 4.2.2 阴阳极厚度对热噪声的影响 | 第35-36页 |
| 4.2.3 阴阳极宽度对热噪声的影响 | 第36-38页 |
| 4.2.4 阴阳极孔直径对热噪声的影响 | 第38-39页 |
| 4.3 运动状态下电极排列方式对传感器灵敏度的影响 | 第39-41页 |
| 4.4 运动状态下电极结构参数对传感器频率特性的影响 | 第41-48页 |
| 4.4.1 阴阳极孔直径对频率特性的影响 | 第42-43页 |
| 4.4.2 阴阳极间距与两组电极间间距对频率特性的影响 | 第43-44页 |
| 4.4.3 阴阳极厚度对频率特性的影响 | 第44-46页 |
| 4.4.4 阴阳极宽度对频率特性的影响 | 第46-47页 |
| 4.4.5 流道出入口结构对传感器性能影响 | 第47-48页 |
| 4.5 理想单通道反应腔结构参数 | 第48-49页 |
| 4.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 仿真结果与实际测量对比 | 第50-54页 |
| 5.1 测量目的及方法介绍 | 第50页 |
| 5.2 实验条件及具体实施措施 | 第50-51页 |
| 5.3 实际测量结果与仿真结果对比分析 | 第51-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 论文总结 | 第54-55页 |
| 6.2 研究展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者简介及科研成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
