| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第12页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展态势 | 第12-25页 |
| 1.2.1 二维（2D）钯纳米薄膜氢气传感器 | 第13-16页 |
| 1.2.1.1 纯钯纳米薄膜氢气传感器 | 第13-15页 |
| 1.2.1.2 钯合金薄膜氢气传感器 | 第15-16页 |
| 1.2.2 一维（1D）钯纳米线氢气传感器 | 第16-22页 |
| 1.2.2.1 光刻蚀钯纳米线氢气传感器 | 第16-19页 |
| 1.2.2.2 自顶向下钯纳米线氢气传感器 | 第19-20页 |
| 1.2.2.3 等离子刻蚀钯纳米线氢气传感器 | 第20-21页 |
| 1.2.2.4 颗粒结构钯纳米线氢气传感器 | 第21-22页 |
| 1.2.3 钯纳米团簇氢气传感器 | 第22-25页 |
| 1.2.3.1 连续钯纳米团簇薄膜氢气传感器 | 第22-23页 |
| 1.2.3.2 钯纳米团簇修饰CNTs氢气传感器 | 第23-25页 |
| 1.3 本文的主要创新点 | 第25页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第25-27页 |
| 第二章 钯基氢气传感器的氢敏机理研究 | 第27-39页 |
| 2.1 钯薄膜吸氢的基本原理 | 第27-32页 |
| 2.1.1 吸收氢气的金属 | 第27页 |
| 2.1.2 钯吸收氢气的过程 | 第27-28页 |
| 2.1.3 钯探测氢气的电学机理 | 第28-30页 |
| 2.1.4 PdHx相变的解决方案 | 第30-32页 |
| 2.2 非连续钯薄膜吸氢原理 | 第32-38页 |
| 2.2.1 膨胀动力学理论研究基础 | 第33-34页 |
| 2.2.2 钯的膨胀动力学研究 | 第34-38页 |
| 2.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 多孔钯纳米薄膜氢气传感器 | 第39-54页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 实验材料与实验方法 | 第39-43页 |
| 3.2.1 实验材料与仪器 | 第39-40页 |
| 3.2.2 实验方法 | 第40-43页 |
| 3.2.2.1 AAO衬底的制备 | 第40-42页 |
| 3.2.2.2 多孔钯纳米薄膜氢气传感器的制备 | 第42-43页 |
| 3.2.2.3 氢敏材料的表征和氢气传感器性能测试 | 第43页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第43-53页 |
| 3.3.1 氢气传感器性能测试 | 第43-49页 |
| 3.3.2 扩孔对氢气传感器影响的讨论 | 第49-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 多孔钯-二氧化钛纳米薄膜氢气传感器 | 第54-64页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 实验材料与实验方法 | 第54-57页 |
| 4.2.1 实验材料与仪器 | 第54-55页 |
| 4.2.2 实验方法 | 第55-57页 |
| 4.2.2.1 AAO衬底的制备 | 第55页 |
| 4.2.2.2 多孔氧化钛薄膜的制备 | 第55-56页 |
| 4.2.2.3 多孔钯-二氧化钛纳米薄膜氢气传感器的制备 | 第56页 |
| 4.2.2.4 多孔钯-二氧化钛纳米薄膜氢气传感器性能测试 | 第56-57页 |
| 4.3 实验结果与分析 | 第57-63页 |
| 4.3.1 多孔钯-二氧化钛纳米薄膜表面分析 | 第57-58页 |
| 4.3.2 氢气传感器的性能测试 | 第58-62页 |
| 4.3.3 氢气敏感原理分析 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 新型钯-碳纳米管复合薄膜氢气传感器 | 第64-74页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 实验材料与实验方法 | 第64-68页 |
| 5.2.1 实验材料与仪器 | 第64-65页 |
| 5.2.2 实验方法 | 第65-68页 |
| 5.2.2.1 p型硅基底的清洗 | 第65-66页 |
| 5.2.2.2 交错碳纳米管制备 | 第66页 |
| 5.2.2.3 钯-碳纳米管复合薄膜氢气传感器的制备 | 第66-67页 |
| 5.2.2.4 钯-碳纳米管复合薄膜氢气传感器的性能测试 | 第67-68页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第68-73页 |
| 5.3.1 SEM分析 | 第68页 |
| 5.3.2 氢气传感器性能测试 | 第68-72页 |
| 5.3.3 氢敏原理分析 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 全文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第83-84页 |
