射频放电等离子体的探针诊断研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 引言 | 第13-34页 |
| 1.1 射频等离子体概况 | 第13-25页 |
| 1.1.1 射频等离子体的放电原理 | 第14-17页 |
| 1.1.2 射频等离子体的诊断方法 | 第17-23页 |
| 1.1.3 射频等离子体应用及前景 | 第23-25页 |
| 1.2 射频等离子体探针诊断 | 第25-28页 |
| 1.2.1 射频等离子体中的探针特性 | 第26-27页 |
| 1.2.2 射频等离子体探针诊断研究历程和现状 | 第27-28页 |
| 1.3 论文的研究重点 | 第28-30页 |
| 1.4 论文的章节划分 | 第30-31页 |
| 参考文献 | 第31-34页 |
| 第二章 射频放电等离子体探针诊断系统 | 第34-43页 |
| 2.1 探针系统设计目标 | 第34页 |
| 2.2 射频等离子体探针诊断系统整体结构 | 第34-35页 |
| 2.3 射频电源及匹配网络 | 第35-36页 |
| 2.4 等离子体真空腔及放电装置 | 第36页 |
| 2.5 探针诊断电子学系统 | 第36-42页 |
| 2.5.1 电子学系统关键问题设计方案 | 第37-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |
| 第三章 射频放电等离子体探针诊断电子学系统 | 第43-78页 |
| 3.1 探针诊断电子学系统设计目标 | 第43-44页 |
| 3.2 探针诊断电子学系统整体结构 | 第44-45页 |
| 3.3 滤波谐振屏蔽盒 | 第45-46页 |
| 3.4 光电隔离板 | 第46-53页 |
| 3.4.1 整体框图 | 第46-47页 |
| 3.4.2 光电隔离 | 第47-49页 |
| 3.4.3 高压放大及功率放大 | 第49-50页 |
| 3.4.4 电流差分放大 | 第50-51页 |
| 3.4.5 取样电阻及保护电路 | 第51页 |
| 3.4.6 电源设计 | 第51-52页 |
| 3.4.7 PCB设计 | 第52-53页 |
| 3.5 信号采集板 | 第53-76页 |
| 3.5.1 方案选择 | 第53-54页 |
| 3.5.2 整体结构 | 第54-55页 |
| 3.5.3 调理放大及ADC | 第55-58页 |
| 3.5.4 DAC及滤波电路 | 第58-60页 |
| 3.5.5 USB接口 | 第60-64页 |
| 3.5.6 SD卡 | 第64-65页 |
| 3.5.7 串口 | 第65-66页 |
| 3.5.8 网口 | 第66-67页 |
| 3.5.9 LCM显示模块 | 第67-68页 |
| 3.5.10 单片机 | 第68-71页 |
| 3.5.11 FPGA | 第71-73页 |
| 3.5.12 电源设计 | 第73-74页 |
| 3.5.13 PCB设计 | 第74-76页 |
| 3.6 本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-78页 |
| 第四章 射频等离子体探针诊断电子学系统固件设计 | 第78-94页 |
| 4.1 探针诊断电子学系统软件整体结构 | 第78-79页 |
| 4.2 探针诊断电子学系统逻辑设计 | 第79-89页 |
| 4.2.1 ADC接口 | 第79-81页 |
| 4.2.2 初步处理及FIFO缓冲 | 第81-82页 |
| 4.2.3 DAC接口 | 第82页 |
| 4.2.4 DDS模块 | 第82-85页 |
| 4.2.5 命令解析及控制模块 | 第85-86页 |
| 4.2.6 USB接口 | 第86-87页 |
| 4.2.7 SD卡接口 | 第87-89页 |
| 4.3 上位机软件设计 | 第89-93页 |
| 4.3.1 上位机软件的界面 | 第90页 |
| 4.3.2 上位机软件的多线程设计 | 第90-93页 |
| 4.4 本章小结 | 第93页 |
| 参考文献 | 第93-94页 |
| 第五章 射频等离子体探针诊断测试结果 | 第94-106页 |
| 5.1 信号采集板测试 | 第94-103页 |
| 5.1.1 DAC测试 | 第94-95页 |
| 5.1.2 ADC测试 | 第95-103页 |
| 5.2 光电隔离板测试 | 第103-105页 |
| 5.2.1 扫描信号峰峰值测试 | 第103-104页 |
| 5.2.2 光电隔离板的幅度调整测试 | 第104-105页 |
| 5.3 本章小结 | 第105页 |
| 参考文献 | 第105-106页 |
| 第六章 博士期间其它工作 | 第106-120页 |
| 6.1 基于漂移室的宇宙线M子成像系统读出电子学 | 第106-112页 |
| 6.1.1 宇宙线成像系统总体结构 | 第106-107页 |
| 6.1.2 成像系统读出电子学 | 第107-109页 |
| 6.1.3 电子学测试结果 | 第109-112页 |
| 6.2 基于FPGA的数字锁定放大器设计 | 第112-118页 |
| 6.2.1 锁定放大器基本原理 | 第113-114页 |
| 6.2.2 数字锁定放大器的算法设计 | 第114-117页 |
| 6.2.3 锁定放大器仿真结果 | 第117-118页 |
| 6.3 本章小结 | 第118页 |
| 参考文献 | 第118-120页 |
| 第七章 总结与展望 | 第120-122页 |
| 7.1 工作总结 | 第120-121页 |
| 7.2 未来工作展望 | 第121-122页 |
| 附录 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第125页 |
