大量程场式时栅位移传感器设计制造及关键技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-16页
·研究背景及意义	第9-10页
·纳米位移测量技术的发展状况	第10-15页
·纳米位移测量的研究进展	第10-11页
·纳米位移传感器的种类及其发展	第11-15页
·本章小结	第15-16页
第二章 时栅传感器原理及发展	第16-23页
·时栅传感器的工作原理	第16-17页
·时栅传感器的发展	第17-22页
·齿式时栅传感器研究	第18-19页
·场式时栅位移传感器	第19-22页
·磁场式时栅位移传感器	第19-21页
·电场式时栅位移传感器	第21-22页
·本章小结	第22-23页
第三章 大量程电场式纳米时栅传感器的优化设计	第23-33页
·电场式时栅传感器结构优化	第23-30页
·电场式时栅传感器的工作原理	第23-25页
·计算机仿真及 COMSOL 介绍	第25页
·仿真模型建立	第25-27页
·仿真结果及分析	第27-30页
·电场式时栅传感器加工版图设计	第30-32页
·单层结构时栅传感器版图设计	第30-31页
·多层结构时栅传感器版图设计	第31-32页
·本章小结	第32-33页
第四章 大量程电场式时栅传感器的加工制造	第33-42页
·大量程电场式时栅传感器	第33页
·单层结构时栅传感器的设计	第33-37页
·多层结构时栅传感器的设计	第37-40页
·本章小结	第40-42页
第五章 实验验证及结果分析	第42-55页
·单层结构时栅传感器测试	第42-48页
·形貌测试	第42-43页
·性能测试	第43-48页
·多层结构传感器测试	第48-54页
·表面形貌测试	第48-52页
·性能测试	第52-54页
·本章小结	第54-55页
第六章 总结与展望	第55-58页
·论文总结	第55-56页
·展望	第56-58页
参考文献	第58-62页
攻读硕士学位期间所取得的研究成果	第62-63页
致谢	第63-65页