| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·微纳制造技术研究概况 | 第12-14页 |
| ·国内外微纳制造技术研究现状 | 第12-13页 |
| ·微纳结构表面的应用 | 第13-14页 |
| ·表面微纳结构的制备方法 | 第14-16页 |
| ·主要研究内容及创新点 | 第16-18页 |
| ·论文选题来源 | 第16页 |
| ·论文研究内容 | 第16-17页 |
| ·论文创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 铜基表面超疏水微纳阵列结构的构筑 | 第18-29页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·铜基表面微结构的构筑 | 第19-21页 |
| ·铜基超疏水微纳结构的研究意义 | 第19-20页 |
| ·设计思路 | 第20-21页 |
| ·铜表面多孔阵列光刻胶模板的制备 | 第21-23页 |
| ·实验材料、试剂及仪器 | 第21页 |
| ·铜基表面阵列微孔光刻胶模板制备 | 第21-23页 |
| ·异质微纳米分形阵列结构的制备 | 第23页 |
| ·表面阵列结构的表征 | 第23-27页 |
| ·形貌和结构表征（SEM） | 第24-26页 |
| ·表面形貌组分分析（XRD、Mapping、EDX） | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 铜基阵列复合微纳形貌的调控及超疏水性能研究 | 第29-44页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·表面微纳阵列形貌调控 | 第30-35页 |
| ·光刻工艺参数对表面形貌的影响 | 第30-31页 |
| ·沉积时间及溶液浓度对表面形貌的影响 | 第31-32页 |
| ·单一粗糙度表面润湿性分析 | 第32-33页 |
| ·微-纳米复合阵列表面结构调控 | 第33-35页 |
| ·不同形貌疏水性的研究 | 第35-39页 |
| ·典型形貌的静态接触角及滚动角 | 第36-37页 |
| ·动态接触角 | 第37-38页 |
| ·液滴弹跳实验 | 第38-39页 |
| ·超疏水界面的接触时间 | 第39页 |
| ·润湿性模型解释 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 铜基阵列复合微纳结构表面的应用 | 第44-52页 |
| ·表面自清洁性能 | 第44-46页 |
| ·超疏水表面的耐腐蚀性及稳定性 | 第46-49页 |
| ·铜的腐蚀与防护 | 第46-47页 |
| ·超疏水表面稳定性及耐腐蚀性 | 第47-49页 |
| ·超疏水表面在 SERS 检测中的应用 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 铝基表面精细结构的构筑 | 第52-64页 |
| ·铝及铝合金的性质及应用 | 第52页 |
| ·铝基超疏水微纳表面的制备与表征 | 第52-59页 |
| ·实验材料、试剂及制备 | 第52-53页 |
| ·单一刻蚀剂盐酸 | 第53-55页 |
| ·SDBS 辅助盐酸刻蚀 | 第55-57页 |
| ·HF/HCl 刻蚀制备铝基超疏水表面 | 第57-59页 |
| ·几种微结构表面的制备方法的对比与讨论 | 第59页 |
| ·表面形貌与摩擦性能的关系 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结 | 第64-66页 |
| ·主要结论 | 第64-65页 |
| ·研究展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 硕士期间发表的论文和申请的专利 | 第72页 |