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氢化纳米硅薄膜光电导性质研究

摘要第1-8页
ABSTRACT第8-13页
第一章 绪论第13-18页
第二章 nc-Si:H 薄膜的光电导和电学的测试系统第18-33页
   ·傅立叶光谱学及Nicolet Nexus 870 傅立叶红外光谱仪第18-24页
     ·傅立叶变换光谱学的基本原理第18-21页
     ·傅立叶变换光谱的优点第21-22页
     ·傅立叶透射/吸收光谱实验介绍第22-24页
   ·光电导谱实验装置第24页
   ·Keithely 2400 Series SourceMeter 电流源/电压源表第24-26页
   ·霍耳效应实验方法和测试系统的介绍第26-29页
   ·Labram HR 800显微激光拉曼光谱仪第29-30页
   ·Oxford Optistat 杜瓦仪第30-32页
 参考文献第32-33页
第三章 nc-Si:H 薄膜的制备和表征第33-63页
   ·硅基材料的分类第33-35页
   ·纳米硅的制备方法第35-41页
   ·氢化纳米硅薄膜的生长机制第41-49页
     ·微观和宏观的生长机制第42-47页
     ·氢的晶化和非晶化作用第47-49页
   ·氢化纳米硅薄膜样品的制备和表征第49-61页
     ·氢化纳米硅薄膜样品的制备第49-50页
     ·远红外(FIR)透射谱测试第50-52页
     ·X 射线衍射(XRD)测试第52-56页
     ·拉曼(Raman)测试第56-59页
     ·高分辨率透射电镜(HRTEM)测试第59-61页
 参考文献第61-63页
第四章 nc-Si:H 薄膜光电导的研究分析第63-82页
   ·光电导现象的简介第63-65页
   ·半导体薄膜光电导的理论模型第65-73页
     ·量子效率和光学产生率 g ( hω)第65-66页
     ·半导体薄膜带间激发光电导输运方程第66-71页
     ·光电导谱和光学参数的关系第71-73页
   ·nc-Si:H 薄膜的光电导实验结果第73-76页
   ·nc-Si:H 薄膜的光电导理论结果第76-80页
 参考文献第80-82页
第五章 nc-Si:H(n)/c-Si(p)异质结光电导的研究分析第82-111页
   ·纳米硅薄膜p-n异质结能带特性第82-90页
     ·反型异质结和同型异质结第82页
     ·缓变结与突变结第82-85页
     ·纳米硅薄膜p-n 异质结能带第85-90页
   ·nc-Si:H(n)/c-Si(p)异质结光电导的理论模型第90-94页
     ·半导体耗尽区的光电流效应第90-94页
   ·晶态比对nc-Si:H(n)/c-Si(p)异质结的光电导的影响第94-99页
   ·温度对nc-Si:H(n)/c-Si(p)异质结的光电导的影响第99-109页
 参考文献第109-111页
第六章 结论第111-116页
致谢第116-117页
攻读学位期间发表的学术论文目录及奖励第117页

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