| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-28页 |
| ·引言 | 第11-14页 |
| ·虚拟测量方法 | 第14-19页 |
| ·非线性虚拟测量方法 | 第16-17页 |
| ·线性虚拟测量方法 | 第17-19页 |
| ·批间控制器设计方案 | 第19-24页 |
| ·单一产品EWMA控制器 | 第20-22页 |
| ·混合制程EWMA控制器 | 第22-24页 |
| ·存在的问题 | 第24-26页 |
| ·主要内容 | 第26-28页 |
| 第二章 基于动态典型相关分析的单一产品虚拟测量模型辨识 | 第28-54页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·动态典型相关分析 | 第28-35页 |
| ·典型相关分析 | 第29-32页 |
| ·动态典型相关分析 | 第32-34页 |
| ·算法步骤 | 第34-35页 |
| ·仿真与实验结果 | 第35-53页 |
| ·数值仿真 | 第35-42页 |
| ·业实例应用 | 第42-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 基于MANCOVA的混合制程虚拟测量模型辨识 | 第54-67页 |
| ·引言 | 第54-55页 |
| ·MANCOVA | 第55-61页 |
| ·逐步回归算法 | 第55-58页 |
| ·ANCOVA算法 | 第58-59页 |
| ·IMA(1,1)误差估计 | 第59-60页 |
| ·算法步骤 | 第60-61页 |
| ·实验验证 | 第61-66页 |
| ·蚀刻制程描述 | 第61-62页 |
| ·SVID特征变量提取 | 第62页 |
| ·实验结果 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第四章 柔性生产工艺条件下的批间控制算法 | 第67-81页 |
| ·引言 | 第67-68页 |
| ·z-EWMA控制器设计 | 第68-74页 |
| ·s-EWMA控制 | 第68-71页 |
| ·z-EWMA控制 | 第71-73页 |
| ·控制算法步骤 | 第73-74页 |
| ·实验验证 | 第74-80页 |
| ·数值仿真 | 第74-76页 |
| ·逆向工程验证 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 基于统计分析的机台性能匹配方法 | 第81-96页 |
| ·引言 | 第81-82页 |
| ·制程描述 | 第82-83页 |
| ·机台匹配方法 | 第83-93页 |
| ·特征变量选择 | 第83-87页 |
| ·机台性能优劣辨识 | 第87-89页 |
| ·性能匹配算法 | 第89-93页 |
| ·算法步骤 | 第93页 |
| ·实验结果 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第六章 总结与展望 | 第96-99页 |
| ·论文工作总结 | 第96-97页 |
| ·论文工作展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第112-113页 |